[发明专利]一种超薄平板热管及其制造工艺

权利要求书

1.一种超薄平板热管，其特征在于，包括扣合封装的底板和盖板，所述底板设有内置有若干平行设置的毛细结构的凹腔，相邻的毛细结构之间形成有用于气态工质流动的气体流动槽道，所述毛细结构包括若干平行设置的液体流动槽道。

2.根据权利要求1所述的超薄平板热管，其特征在于，若干液体流动槽道流通设有用于抽真空和填充工质的充液口，所述充液口连通设有充液管，所述充液管的尾部密封设置。

3.根据权利要求2所述的超薄平板热管，其特征在于，所述充液口突出于平板热管的端部设置。

4.根据权利要求2所述的超薄平板热管，其特征在于，所述毛细结构包括丝网结构以及多孔结构，所述丝网结构烧结于凹腔底面，所述多孔结构烧结于丝网结构上。

5.根据权利要求4所述的超薄平板热管，其特征在于，所述多孔结构包括若干由金属材料烧结得到的条状结构，所述金属材料选自铜粉、镍粉中的一种或其组合；所述条状结构的上表面与盖板的下表面贴紧设置，所述液体流动槽道设于相邻的条状结构之间。

6.根据权利要求2至5任一项所述的超薄平板热管，其特征在于，所述盖板、底板、充液管为由硬质金属材料加工制成的金属结构，所述硬质金属材料选自铜、铝、不锈钢中的一种或多种的合金。

7.一种超薄平板热管的制造工艺，其特征在于，包括以下步骤：

S10. 在底板上蚀刻凹腔；

S20. 将丝网放置在底板的凹腔内，并在喷射酒精后用石墨板压紧使丝网与底板紧密贴合，并将其置于充满惰性气体的烧结炉中进行一次烧结；

S30. 将步骤S20中烧结的底板自然冷却后进行烧结粉末填充，并将其置于充满惰性气体的烧结炉中进行二次烧结形成气体流动槽道和液体流动槽道；

S40. 将盖板与底板相对而置并进行封装；

S50. 将热管抽真空并填充工质，并对充液管的尾部进行密封。

8.根据权利要求7所述的超薄平板热管的制造工艺，其特征在于，步骤S10中，所述凹腔的深度为0.8mm~1.5mm，所述蚀刻工艺包括以下步骤：

S11. 对底板表面进行预处理，除去金属蚀刻表面的油污及氧化膜；

S12. 对步骤S11预处理后的底板表面丝网印刷得到蚀刻图案；

S13. 通过化学蚀刻溶液的化学作用对步骤S12的刻蚀图案部位进行腐蚀，所述化学蚀刻溶液为百分含量为30%~40%的三氯化铁溶液，蚀刻溶液的温度为40℃~50℃，所述蚀刻速率为0.03 mm/min ~0.05mm/min；

S14. 对底板进行后处理以去除丝印油墨。

9.根据权利要求8所述的超薄平板热管的制造工艺，其特征在于，步骤S30中，借助模具进行烧结粉末填充，所述模具设有用于充入烧结粉末的进料孔以及用于形成多个粉末通道的凸棱，利用高压气体将烧结粉末充入相邻凸棱之间形成的粉末通道中，粉末通道内的烧结粉末经二次烧结后形成槽状结构，相邻的槽状结构之间即形成气体流动槽道。

10.根据权利要求8所述的超薄平板热管的制造工艺，其特征在于，步骤S40中，所述封装包括：采用锡膏高温焊接方式将底板与盖板焊接，利用高周波高温焊接填充充液管和充液口之间的间隙，将充液管的尾部夹扁采用点焊的方式进行密封。