[发明专利]一种连续镀膜设备

说明书

本发明公开了一种连续镀膜设备，包括进料仓、过渡仓和至少一条镀膜室，镀膜室连接于进料仓和过渡仓之间，镀膜室内设置靶材、溅射电源和传送机构，进料仓内设置有第一基片架，过渡仓内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构为三轴翻转机械手，翻转机构包括翻转机械手X轴链、翻转机械手Y轴链、翻转机械手Z轴链、翻转机械手运行轨道、旋转臂、夹紧气缸和翻转驱动机构，旋转臂设置于翻转机械手Z轴链的输出端，夹紧气缸设置于旋转臂上，翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。本发明具有自动化程度高、钕铁硼磁片不易氧化、工作效率高的特点。

技术领域

本发明涉及磁体制备技术领域，特别涉及一种连续镀膜设备。

背景技术

钕铁硼（Nd2Fe14B）永磁体具有高剩磁、高矫顽力和高磁能积，是现今所知的综合性能最高的稀土永磁材料，促进了磁学器件的小型化、轻型化的发展，使得在风力发电、变频压缩机和新能源乘用车等高端热门领域得到了广泛的应用。

在现有技术中，为了获得高性能的烧结钕铁硼永磁体主要运用到重稀土等元素的添加，晶界扩散添加重稀土元素成为近年来研究的热点，使用晶界扩散的方法，使重稀土元素扩散进入磁体晶界及主相晶粒边缘区域，既能达到提高各向异性场的目的，又不明显的降低剩磁和磁能积，同时成本微量增加。

磁控溅射便是晶界扩散添加稀土元素的方法中的一种，磁控溅射是通过磁控溅射设备溅射重稀土金属在钕铁硼磁体表面，但是现有的磁控溅射是将磁体平放在托盘上，使一面溅射镀膜之后冷却，再进行手工翻面，再对另一面进行溅射，这无疑增加了溅射的时间，降低了生产效率，而且手工翻面容易导致钕铁硼磁体发生氧化，而影响钕铁硼磁体的性能。

发明内容

针对现有技术的不足和缺陷，提供一种连续镀膜设备，具有自动化程度高、钕铁硼磁片不易氧化、工作效率高的特点。

为实现上述目的，本发明提供以下技术方案。

一种连续镀膜设备，包括进料仓、过渡仓和至少一条镀膜室，镀膜室连接于进料仓和过渡仓之间，镀膜室内设置靶材、溅射电源和传送机构，溅射电源与所述靶材电连接，用以向所述靶材输出溅射功率，进料仓内设置有第一基片架和进料机构，进料机构为三轴进料机械手，三轴进料机械手包括进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链、进料机械手运行轨道、真空吸盘、进料驱动机构，进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链分别设置于进料机械手运行轨道上，且通过进料驱动机构带动进料机械手X轴链、进料机械手Y轴链、进料机械手Z轴链在进料机械手运行轨道上滑动，真空吸盘设置于进料机械手Z轴链的输出端，真空吸盘连接有真空发生器, 真空吸盘用以将钕铁硼磁片移送至第一基片架上,过渡仓内设有第二基片架和翻转机构，第一基片架和第二基片架分别用于放置钕铁硼磁片，翻转机构为三轴翻转机械手，翻转机构包括翻转机械手X轴链、翻转机械手Y轴链、翻转机械手Z轴链、翻转机械手运行轨道、旋转臂、夹紧气缸和翻转驱动机构，翻转机械手X轴链、翻转机械手Y轴链、翻转机械手Z轴链均设置于翻转机械手运行轨道上，且通过翻转驱动机构带动翻转机械手X轴链、翻转机械手Y轴链、翻转机械手Z轴链在进翻转械手运行轨道上滑动，旋转臂设置于翻转机械手Z轴链的输出端，夹紧气缸设置于旋转臂上，翻转机构用以将第一基片架上的钕铁硼磁片翻转至第二基片架上。

进一步的，传送机构为伺服电机通过磁流体驱动的中间传送辊。

进一步的，进料仓和过渡仓内分别设有与中间传送辊对接的内传送辊, 内传送辊通过外部的同步带机构或内部的链传动实现。

进一步的，镀膜室和进料仓之间设有进料室，镀膜室和过渡仓之间设有出料室。

进一步的，进料室和进料仓之间以及出料室和过渡仓之间分别设有真空翻板阀门。

进一步的，进料仓、过渡仓和镀膜室内均连接有真空发生器。