[发明专利]粉末净化处理装置

权利要求书

1.一种粉末净化处理装置，其特征是包括在一器壳内规划形成有提供含藏有粉末的废气通过的：

一第一水洗腔室，具有一导入含藏粉末的废气的入口，且该第一水洗腔室内配置有一第一喷水器，该第一水洗腔室底部并形成一第一集水槽；

一粉末捕捉腔室，内部间隔形成一第一过滤槽及一第二过滤槽，该第一过滤槽及该第二过滤槽之间经由一通道相连通，且该第一过滤槽及该第二过滤槽上方分别配置有一喷水头，该第一过滤槽及该第二过滤槽内还分别摆放有多个捕集环；及

一第二水洗腔室，具有一排放净化后废气的出口，且该第二水洗腔室内配置有一第二喷水器，该第二水洗腔室形成于该第一水洗腔室的一侧，使得该粉末捕捉腔室坐落于该第一水洗腔室与该第二水洗腔室之间，该第二水洗腔室的底部形成一第二集水槽；

其中，该第一过滤槽底部形成有多个连通该第一水洗腔室的第一透气孔，且该第二过滤槽底部形成有多个连通该第二水洗腔室的第二透气孔；该入口、该第一水洗腔室、所述多个第一透气孔、该第一过滤槽、该粉末捕捉腔室、该第二过滤槽、所述多个第二透气孔、该第二水洗腔室以及该出口依序成为导引废气通过的一气体流道。

2.如权利要求1所述粉末净化处理装置，其特征在于：该入口及该出口分别形成于该器壳的顶部。

3.如权利要求1或2所述粉末净化处理装置，其特征在于：该第一喷水器的一端通过该入口凸伸至该器壳外，该第二喷水器的一端通过该出口凸伸至该器壳外。

4.如权利要求1所述粉末净化处理装置，其特征在于：该第一过滤槽及该第二过滤槽分别形成于该粉末捕捉腔室的底层。

5.如权利要求1所述粉末净化处理装置，其特征在于：该通道形成于该粉末捕捉腔室的上层。

6.如权利要求1或2所述粉末净化处理装置，其特征在于：该喷水器具有一呈中空柱状的管体，该管体一端形成一朝上喷水的喷水孔，该管体的周边并间隔设有多个朝下喷水的喷雾孔，该喷水孔的孔径大于所述喷雾孔的孔径。

7.如权利要求6所述粉末净化处理装置，其特征在于：该管体并由该喷水孔向外延伸形成一扰流板，该扰流板具有由上朝下斜倾的一斜面，使该喷水孔间隔对应该斜面供水喷溅。

8.如权利要求1所述粉末净化处理装置，其特征在于：所述捕集环呈环圈状，所述捕集环的环壁上形成有多个通气孔与由各该通气孔一侧朝所述捕集环的轴心方向延伸的一舌片。

9.如权利要求1或8所述粉末净化处理装置，其特征在于：所述多个捕集环分别并排横置于该第一过滤槽及该第二过滤槽内。

10.如权利要求9所述粉末净化处理装置，其特征在于：所述多个捕集环为多层式构造。

11.如权利要求1所述粉末净化处理装置，其特征在于：所述喷水头的双端分别形成一连接部及由连接部向外螺旋延伸的一螺旋部，所述连接部内形成一出水孔，该出水孔的一端朝向该螺旋部供水喷溅。

12.如权利要求1所述粉末净化处理装置，其特征在于：该器壳配置于一半导体废气处理设备上，该半导体废气处理设备具有一反应腔室及一后段水洗腔室，该第一水洗腔室经由该入口与该反应腔室相连通，该第二水洗腔室经由该出口与该后段水洗腔室相连通。