[发明专利]硅烷燃烧装置

说明书

本发明公开了一种硅烷燃烧装置，包括水池、支架、内筒、外筒和第一喷淋管；内筒和外筒均安装在支架上，外筒罩住内筒，外筒和内筒均下端敞口；外筒和内筒均位于水池的池水之上，外筒和内筒的敞口均高于池水的水面；内筒的表面设置有连通孔使得内筒的内腔与外筒的内腔连通；外筒的表面设置有放空管使得外筒的内腔连通至外界；硅烷排放管将待燃烧的废气输送至内筒；第一喷淋管安装在外筒的顶部，第一喷淋管用于喷水除尘。本发明利用内筒与水面的间隙将空气自然引入内筒，保障内筒内部空气充足、硅烷充分燃烧，相比于传统的燃烧装置，避免了因空气不足造成爆炸意外，提高了工业生产的安全性。

技术领域

本发明涉及燃烧装置领域，尤其涉及硅烷燃烧装置。

背景技术

硅烷是硅与氢的化合物，包括甲硅烷(SiH₄)、乙硅烷(Si₂H₆)和一些更高级的硅氢化合物。硅烷有非常宽的自发着火范围和极强的燃烧能量，是一种高危险性的气体，直接排放至空气中的硅烷很容易自燃或引起爆炸。因此，工业生产中产生的含有硅烷的废气一般需要经过燃烧处理后排放。现有技术中虽然有各类燃烧装置，但是这些燃烧装置均为封闭式结构，一般是将硅烷废气和压缩空气被同时输送进入燃烧室内，使得硅烷遇氧气后自燃。其缺陷在于当空气与硅烷废气的比例发生改变后，可能引起爆炸。同时，硅烷燃烧产生的粉尘颗粒还需要额外配置除尘装置进行除尘。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种新型的硅烷燃烧装置，避免硅烷燃烧可能产生的爆炸等安全问题，保障企业及工作人员的安全。

为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案为：一种硅烷燃烧装置，包括水池、支架、内筒、外筒和第一喷淋管；

内筒和外筒均安装在支架上，外筒罩住内筒，外筒和内筒均下端敞口；外筒和内筒均位于水池的池水之上，外筒和内筒的敞口均高于池水的水面；内筒的表面设置有连通孔使得内筒的内腔与外筒的内腔连通；外筒的表面设置有放空管使得外筒的内腔连通至外界；连通孔最好设置在内筒的顶部，放空管最好设置在外筒的顶部；

硅烷排放管将待燃烧的废气(主要是硅烷)输送至内筒；

第一喷淋管安装在外筒的顶部，第一喷淋管用于喷水除尘，第一喷淋管的端头一般安装喷头用于均匀喷水。

本发明的硅烷燃烧装置为半开放式结构，内筒用作燃烧室，硅烷经硅烷排放管导入至内筒后遇空气自燃，新鲜空气由内筒与水面之间的间隙流入内筒补充，工作人员可根据硅烷排放管的流量调节水面高度以确保内筒内部具有充足的空气。硅烷燃烧后产生的含有二氧化硅粉尘的热空气经连通孔进入外筒的内腔，第一喷淋管喷水除尘，同时第一喷淋管的喷水对内筒进行降温。

进一步的，水池内设置有水泵，水泵连接第一喷淋管，利用池水喷淋除尘，实现水资源的循环利用。

进一步的，硅烷燃烧装置还包括第二喷淋管，第二喷淋管安装在放空管内，第二喷淋管进一步增加除尘效果。

进一步的，水泵连接第二喷淋管。

进一步的，硅烷燃烧装置还包括排水管，水泵连接排水管，排水管、第一喷淋管和第二喷淋管上均安装有阀门；在水池内积累过多的二氧化硅后，关闭第一喷淋管和第二喷淋管上的阀门，利用水泵和排水管排空水池，然后对水池进行清洁处理。

进一步的，所述放空管内设置有填料层，增加除尘效果。

进一步的，所述外筒的内部设置有填料层，增加除尘效果。

进一步的，硅烷燃烧装置还包括为水池补水的补水管。