[发明专利]感光性树脂组合物、固化膜、显示装置及图案形成方法在审
申请号: | 201811121141.3 | 申请日: | 2018-09-25 |
公开(公告)号: | CN109557765A | 公开(公告)日: | 2019-04-02 |
发明(设计)人: | 石川达郎;松本直纯;盐田大 | 申请(专利权)人: | 东京应化工业株式会社 |
主分类号: | G03F7/033 | 分类号: | G03F7/033;G03F7/004;H01L51/50;H01L51/54 |
代理公司: | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人: | 杨宏军;唐峥 |
地址: | 日本神*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光性树脂组合物 固化膜 着色剂 发光元件 图案形成 显示装置 固化 光聚合性化合物 光聚合引发剂 热固性化合物 无机黑色颜料 有机颜料组合 粘结剂树脂 高遮光性 热损伤 遮光膜 烘烤 基板 炭黑 | ||
1.感光性树脂组合物,其是用于在具备发光元件的基板上形成图案的感光性树脂组合物,其包含:
(A)粘结剂树脂,
(B)光聚合性化合物,
(C)光聚合引发剂,
(D)着色剂,和
(E)热固性化合物,
所述(D)着色剂包含(D1)炭黑及/或无机黑色颜料、和(D2)有机黑色颜料,
针对所述感光性树脂组合物,在以下的条件下使其固化而得到固化膜,将该固化膜的厚度记为T1,将使该固化膜在丙二醇单甲基醚乙酸酯中浸渍300秒后的厚度记为T2时,T2/T1为0.80以上,
条件:
将所述感光性树脂组合物以厚度成为1±0.1μm的方式涂布于玻璃基板上,以200mJ/cm2的曝光量进行曝光,接下来以100℃、30分钟的条件进行烘烤,制成固化膜。
2.感光性树脂组合物,其包含:
(A)粘结剂树脂,
(B)光聚合性化合物,
(C)光聚合引发剂,
(D)着色剂,和
(E)热固性化合物,
所述(D)着色剂包含(D1)炭黑及/或无机黑色颜料、和(D2)有机黑色颜料,
所述(D)着色剂整体中的所述(D1)炭黑及/或无机黑色颜料的量为30质量%以上且65质量%以下,所述(D2)有机黑色颜料的量为10质量%以上且70质量%以下。
3.如权利要求1或2所述的感光性树脂组合物,其中,在所述感光性树脂组合物的全部固态成分中,所述(E)热固性化合物含量的比例为1质量%以上且15质量%以下。
4.如权利要求1~3中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(E)热固性化合物为(E1)多官能环氧化合物。
5.如权利要求1~4中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(D2)有机黑色颜料包含选自(D2a)苝系颜料及(D2b)内酰胺系颜料中的1种以上。
6.如权利要求1~5中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,所述(A)粘结剂树脂为碱溶性树脂。
7.如权利要求6所述的感光性树脂组合物,其中,所述碱溶性树脂包含在分子内含有光聚合性基团的树脂。
8.如权利要求6或7所述的感光性树脂组合物,其中,所述碱溶性树脂包含在分子内具有Cardo结构的树脂。
9.如权利要求1~8中任一项所述的感光性树脂组合物,其中,形成了固化膜时的光密度(O.D.)为1.5/μm以上。
10.固化膜,其是使权利要求1~9中任一项所述的感光性树脂组合物固化而形成的。
11.显示装置,其具备权利要求10所述的固化膜。
12.图案形成方法,其包括下述工序:
通过涂布权利要求1~9中任一项所述的感光性树脂组合物从而形成涂布膜的工序,
以位置选择性的方式对所述涂布膜进行曝光的工序,
对经曝光的涂布膜进行显影的工序,和
通过对已被显影的涂布膜进行烘烤从而得到固化膜的工序。
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