[发明专利]一种微流道散热器的制备方法在审
| 申请号： | 201811121903.X | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109434296A | 公开（公告）日： | 2019-03-08 |
| 发明（设计）人： | 王韬;李秋燕;吴传贵 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | B23K26/364 | 分类号： | B23K26/364;H05K7/20 |
| 代理公司： | 电子科技大学专利中心 51203 | 代理人： | 闫树平 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 微流道 散热器 沟槽内表面 制备 激光刻蚀技术 激光刻蚀 起伏结构 扫描间隔 扫描路径 扫描周期 一次成型 直接形成 制作设备 微尺度 微结构 散热 刻蚀 激光 调控 | ||
【权利要求书】：
1.一种微流道散热器的制备方法，包括以下步骤：
步骤1、通过激光刻蚀在微流道基板或者微流道盖板上制备预设的微流道沟槽；
通过激光刻蚀在微流道基板或微流道盖板上制备微流道的冷却液出入口，冷却液出入口通过微流道沟槽连通；冷却液入口通过导管外接到冷却液驱动装置，冷却液出口通过导管引出到下一级冷却装置；
步骤2、将步骤1制得的微流道基板和微流道盖板键合在一起，形成微流道散热器。
2.如权利要求1所述微流道散热器的制备方法，其特征在于：通过控制激光的能量、扫描间隔、扫描周期和扫描路径，实现微流道沟槽内表面多孔微结构的调控。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于电子科技大学，未经电子科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201811121903.X/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种微型电池五金壳自动化镭雕装置
- 下一篇：一种微调型激光切割装置
