[发明专利]检查装置在审
| 申请号： | 201811122124.1 | 申请日： | 2018-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109597191A | 公开（公告）日： | 2019-04-09 |
| 发明（设计）人： | 上原诚 | 申请（专利权）人： | 株式会社目白67 |
| 主分类号： | G02B17/06 | 分类号： | G02B17/06;G02B7/182;G01B11/24 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;王艳春 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 物体表面 凹面主镜 检查装置 成像光学系统 在线图像 反射型 平面镜 传感器 副镜 凸面 成像 线图像传感器 三维形状 反射 检查 | ||
【权利要求书】：
1.一种检查装置，具备：线图像传感器，接收来自物体表面的光；以及等倍反射型成像光学系统，使来自所述物体表面的光在所述线图像传感器上成像，
所述检查装置的特征在于，
所述等倍反射型成像光学系统包括凹面主镜、凸面副镜、以及提取平面镜，所述等倍反射型成像光学系统构成为使来自所述物体表面的光的光束按照所述凹面主镜、所述凸面副镜、所述凹面主镜的顺序反射后，经由所述提取平面镜在所述线图像传感器上成像。
2.根据权利要求1所述的检查装置，其中，所述检查装置具备：
第一倾斜单元，能够使从所述物体表面朝向所述凹面主镜的光轴与所述物体表面的垂线所成的角度α变化；以及
第二倾斜单元，能够使从所述提取平面镜朝向所述线图像传感器的光轴与所述线图像传感器的受光面的垂线所成的角度β变化。
3.根据权利要求2所述的检查装置，其中，所述检查装置具备控制单元，所述控制单元对所述第一倾斜单元和所述第二倾斜单元进行控制，
所述控制单元控制所述第一倾斜单元和所述第二倾斜单元以使所述角度α与所述角度β相等。
4.根据权利要求2或3所述的检查装置，其中，所述第一倾斜单元能够使所述角度α在0度～70度的范围内变化，
所述第二倾斜单元能够使所述角度β在0度～70度的范围内变化。
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