[发明专利]检测方法及其检测系统

权利要求书

1.一种检测方法，包括以下步骤：

提供物体，且将所述物体的待测区域划分为多个子区域；

获取各个子区域的特征向量；

设定多个测量方向；

根据各个子区域的特征向量与各个测量方向之间的夹角，对各个子区域分配测量方向；

提供检测设备；

通过所述检测设备在一个或多个测量方向下对子区域进行分区测量，获得相应的检测信息，对任一子区域进行分区测量的测量方向为其分配的测量方向。

2.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述特征向量是各个子区域的法向量。

3.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，各个子区域仅分配一个测量方向；一个或多个子区域分配同一测量方向。

4.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，对各个子区域分配测量方向的步骤包括：将与各个子区域的特征向量的夹角最小的测量方向分配给所述子区域。

5.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，对各个子区域分配测量方向的步骤包括：依次对测量方向进行分配处理，确定分配给各个测量方向的子区域。

6.根据权利要求5所述的检测方法，其特征在于，对测量方向进行分配处理的步骤包括：从还未分配测量方向的子区域中，确定与进行分配处理的测量方向的夹角小于设定阈值的特征向量作为待分配向量；将对应于所述待分配向量的子区域分配进行所述分配处理的测量方向。

7.根据权利要求6所述的检测方法，其特征在于，所述设定阈值小于或等于所述检测设备的角度量程。

8.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，根据各个子区域的特征向量以及所述检测设备的角度量程设定多个测量方向，使得在所述多个测量方向下的角度范围覆盖所述待测区域。

9.根据权利要求8所述的检测方法，其特征在于，各个特征向量包括垂直于第一方向的多个第一特征向量；任意两个第一特征向量之间的夹角的最大值为参考角度；多个测量方向包括第一组测量方向，所述第一组测量方向中的每一个测量方向与所述第一方向垂直；所述第一组测量方向中的测量方向的个数与所述检测设备的角度量程的乘积大于或等于所述参考角度，且相邻测量方向之间的夹角小于或等于所述检测设备的角度量程。

10.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测信息包括所述子区域的三维形貌信息；所述检测方法还包括：对所述三维形貌信息进行拼接，获得所述待测区域的完整三维形貌。

11.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备包括色散共聚焦设备、双目视觉设备、数字全息设备、结构照明设备或3D显微镜设备。

12.根据权利要求1所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备包括：置物台，所述置物台用于放置所述物体；检测模块，所述检测模块用于对所述物体进行测量；第一旋转平台，所述第一旋转平台包括垂直于所述检测模块和所述物体的排列方向的第一旋转轴，所述第一旋转平台用于带动所述检测模块或所述物体绕所述第一旋转轴旋转。

13.根据权利要求12所述的检测方法，其特征在于，所述检测设备还包括：第二旋转平台，所述第二旋转平台包括平行于所述检测模块和所述物体的排列方向的第二旋转轴，所述第二旋转平台用于带动所述检测模块或所述物体绕所述第二旋转轴旋转；第一平移台，所述第一平移台包括垂直于所述检测模块和所述物体的排列方向的第一平移方向，所述第一平移台用于带动所述检测模块或所述物体沿所述第一平移方向移动；第二平移台，所述第二平移台包括垂直于所述检测模块和所述物体的排列方向的第二平移方向，所述第二平移台用于带动所述检测模块或所述物体沿所述第二平移方向移动。

14.一种检测系统，用于对物体进行测量，所述检测系统包括：

子区域划分模块，其用于将所述物体的待测区域划分为多个子区域；

特征向量获取模块，其用于获取各个子区域的特征向量；

测量方向设定模块，其用于设定多个测量方向；

测量方向分配模块，其用于根据各个子区域的特征向量与各个测量方向之间的夹角，对各个子区域分配测量方向；

检测设备，其用于在一个或多个测量方向下对子区域进行分区测量，获得相应的检测信息，对任一子区域进行分区测量的测量方向为其分配的测量方向。