[发明专利]激光照射机构

权利要求书

1.一种激光照射机构，其具有激光振荡器，该激光振荡器按照脉冲的方式振荡出线偏振的激光束，其中，

该激光照射机构具有：

偏振面合成单元，其对该激光振荡器所振荡出的具有第一偏振面的脉冲激光束选择性地合成具有旋转了90度的第二偏振面的脉冲激光束；

放大器，其将由该偏振面合成单元合成的脉冲激光束的功率放大；以及

脉冲激光束提取单元，其提取出被该放大器放大了的脉冲激光束中所包含的具有该第一偏振面的脉冲激光束和具有该第二偏振面的脉冲激光束中的具有要利用的偏振面的脉冲激光束，

该偏振面合成单元由一个声光元件和偏振面旋转器构成，该声光元件选择性地对脉冲激光束的光路进行分支，该偏振面旋转器配设于被该声光元件分支的光路上，将具有第一偏振面的脉冲激光束转换成具有第二偏振面的脉冲激光束，

该脉冲激光束提取单元由偏振分束器构成，

该偏振分束器按照P偏振和S偏振而提取出具有第一偏振面的脉冲激光束和具有第二偏振面的脉冲激光束，

该偏振面旋转器由1/2波长板、反射镜和一个合成用偏振分束器构成，该1/2波长板配设于被该声光元件分支的光路上，使具有第一偏振面的脉冲激光束的偏振面旋转至第二偏振面，偏振面进行了旋转而具有第二偏振面的脉冲激光束被该反射镜反射而直接导入至该合成用偏振分束器，具有第一偏振面的脉冲激光束也导入至该合成用偏振分束器，由该合成用偏振分束器对具有第一偏振面的脉冲激光束和具有第二偏振面的脉冲激光束进行合成而使偏振面按照规定的脉冲在P偏振和S偏振之间变化，

该声光元件的振动频率通过控制部进行控制，通过使振动频率变化，慢慢变更具有第一偏振面的脉冲激光束的功率和具有第二偏振面的脉冲激光束的功率而慢慢调整这两个功率的功率比率，具有第一偏振面的脉冲激光束的功率的变更模式和具有第二偏振面的脉冲激光束的功率的变更模式相同，

从该偏振面合成单元射出的脉冲激光束的重复频率与入射到该偏振面合成单元的脉冲激光束的重复频率是同样的重复频率，并且从该偏振面合成单元射出的脉冲激光束中的具有第一偏振面的脉冲激光束的重复频率和具有第二偏振面的脉冲激光束的重复频率也相同。