[发明专利]一种半导体倒装结构及其制备方法在审
申请号: | 201811124565.5 | 申请日: | 2018-09-26 |
公开(公告)号: | CN109545693A | 公开(公告)日: | 2019-03-29 |
发明(设计)人: | 柯武生 | 申请(专利权)人: | 广西桂芯半导体科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L23/31;H01L23/367;H01L23/373 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 530007 广西壮族自治区南宁市*** | 国省代码: | 广西;45 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 基板 芯片 封装 半导体倒装 盖板 导电柱 封体 制备 焊料 界面导热材料 热膨胀系数 倒装芯片 焊料凸点 芯片背面 有机基板 功能面 散热板 树脂 触点 排布 填充 焊接 匹配 流动 支撑 申请 应用 制造 生产 | ||
1.一种半导体倒装结构,其特征在于,包括基板和盖板封体;在基板的功能面触点处排布导电柱,在基板上倒装芯片,使芯片的焊料凸点支撑在导电柱的顶部,散热板通过界面导热材料安装在芯片背面,盖板封体焊接在基板上,芯片和基板之间填充流动胶。
2.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,所述基板采用有机材料。
3.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,所述流动胶采用环氧树脂 、球型氧化硅 、固化剂促进剂和添加剂中的任一种。
4.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,所述散热板为铝或铜。
5.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,所述芯界面导热材料为金属类铟、导热脂、导热胶、导热粘性模、相变导热材料、导热垫和导热双面胶中的任一种。
6.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,其制备方法包括以下步骤:
(1)在基板的功能面触点处排布导电柱,在基板上倒装芯片,使芯片的焊料凸点支撑在导电柱的顶部,对所述焊料凸点进行回流焊,使所述焊料凸点融化并至少包覆所述导电柱的顶部;
(2)芯片和基板之间填充流动胶;
(3)散热板通过界面导热材料安装在芯片背面;
(4)将盖板封体焊接在基板上。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
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