[发明专利]一种半导体倒装结构及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201811124565.5 申请日: 2018-09-26
公开(公告)号: CN109545693A 公开(公告)日: 2019-03-29
发明(设计)人: 柯武生 申请(专利权)人: 广西桂芯半导体科技有限公司
主分类号: H01L21/56 分类号: H01L21/56;H01L23/31;H01L23/367;H01L23/373
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 530007 广西壮族自治区南宁市*** 国省代码: 广西;45
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摘要:
搜索关键词: 基板 芯片 封装 半导体倒装 盖板 导电柱 封体 制备 焊料 界面导热材料 热膨胀系数 倒装芯片 焊料凸点 芯片背面 有机基板 功能面 散热板 树脂 触点 排布 填充 焊接 匹配 流动 支撑 申请 应用 制造 生产
【权利要求书】:

1.一种半导体倒装结构,其特征在于,包括基板和盖板封体;在基板的功能面触点处排布导电柱,在基板上倒装芯片,使芯片的焊料凸点支撑在导电柱的顶部,散热板通过界面导热材料安装在芯片背面,盖板封体焊接在基板上,芯片和基板之间填充流动胶。

2.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,所述基板采用有机材料。

3.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,所述流动胶采用环氧树脂 、球型氧化硅 、固化剂促进剂和添加剂中的任一种。

4.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,所述散热板为铝或铜。

5.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,所述芯界面导热材料为金属类铟、导热脂、导热胶、导热粘性模、相变导热材料、导热垫和导热双面胶中的任一种。

6.根据权利要求1所述的半导体倒装结构,其特征在于,其制备方法包括以下步骤:

(1)在基板的功能面触点处排布导电柱,在基板上倒装芯片,使芯片的焊料凸点支撑在导电柱的顶部,对所述焊料凸点进行回流焊,使所述焊料凸点融化并至少包覆所述导电柱的顶部;

(2)芯片和基板之间填充流动胶;

(3)散热板通过界面导热材料安装在芯片背面;

(4)将盖板封体焊接在基板上。

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