[发明专利]用于制作衬垫式BPS的光罩和液晶显示面板

权利要求书

1.一种用于制作衬垫式BPS的光罩，其特征在于，所述光罩设有用于形成主隔垫物色阻衬垫的衬垫图案，所述衬垫图案包括透光区域以及设于所述透光区域中的具有小关键尺寸的遮光图案；所述具有小关键尺寸的遮光图案为某一特征方向上线度足够小的规则图案；所述关键尺寸小于等于5um。

2.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述衬垫图案的透光面积占比大于等于70％。

3.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述遮光图案为方块形，三角形，圆形，方块形的阵列排布，线条形，网格形，或回字形。

4.如权利要求1所述的光罩，其特征在于，所述小关键尺寸小于等于2微米。

5.一种液晶显示面板，其特征在于，包括上基板、下基板以及设于所述下基板上的衬垫式BPS；所述衬垫式BPS包括隔垫物和位于所述下基板上并与所述隔垫物对应设置的隔垫物衬垫，所述隔垫物包括主隔垫物与辅助隔垫物，所述隔垫物衬垫包括主隔垫物衬垫和辅助隔垫物衬垫，所述主隔垫物衬垫包括主隔垫物色阻衬垫，所述主隔垫物色阻衬垫的上表面设有微坑；

所述微坑呈沟槽或点阵凸起凹陷状，所述主隔垫物色阻衬垫的表面局部粗糙度大于0.1um，小于0.3um。

6.如权利要求5所述的液晶显示面板，其特征在于，所述衬垫式BPS还包括黑色矩阵；所述主隔垫物衬垫和辅助隔垫物衬垫设于下基板上，所述主隔垫物衬垫高度高于所述辅助隔垫物衬垫；所述主隔垫物衬垫上方对应设有所述黑色矩阵和主隔垫物，所述辅助隔垫物衬垫上方对应设有所述黑色矩阵和辅助隔垫物。

7.如权利要求5所述的液晶显示面板，其特征在于，所述隔垫物顶部形成四周高、中部略微凹陷的凹槽结构，所述凹槽结构波峰波谷值大于0.1um，小于0.5um。

8.如权利要求5所述的液晶显示面板，其特征在于，所述主隔垫物色阻衬垫包括一层或多层色阻。

9.如权利要求5所述的液晶显示面板，其特征在于，所述隔垫物衬垫还包括无机平坦层或有机平坦层，或者包括薄膜晶体管。