[发明专利]一种基于纳米线材料的柔性电极复杂图案的制备方法

权利要求书

1.一种基于纳米线材料的柔性电极复杂图案的制备方法，包括以下步骤：

(1)将滤膜盖在具有负压环境容器的抽滤口上，将具有内孔结构的3D橡胶掩模盖在滤膜上，将底部平滑的管状容器压在3D橡胶掩模上，用夹子固定好后，将纳米线溶液倒入顶部的容器中进行抽滤；

(2)待所有液体都被抽滤完后，将顶部容器，3D掩模依次取下，然后用镊子将滤膜转移到工作台上，该工作台为玻璃或者硬质塑料，其上表面贴有双面胶；

(3)待滤膜完全干燥后，将待固化的液态有机树脂材料涂敷在滤膜上，固化后，撕下有机树脂，便可得具有特定图案的纳米线/有机树脂复合材料柔性电极。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：3D橡胶掩模材料为PDMS，通过倒模或切削加工技术制备，该3D橡胶掩模具有内通孔结构，通过内通孔与3D掩模底部与目标图案一致的凹槽连通在一起。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：滤膜材料为聚四氟乙烯，滤孔尺寸0.2-5μm。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：抽滤过程中真空容器中的负压保持在0.01-0.05MPa。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：纳米线材料为纳米银线、纳米铜线、碳纳米管、石墨烯中的至少一种，其中，所述纳米银线的直径为50-100nm，长度为20-100μm，所述纳米铜线的直径为20-100nm，长度为20-80μm，所述碳纳米管的直径为0.5-30nm，长度为1-50μm。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：所有液体全被被抽滤后，滤膜保持在负压环境下5min以上再取下3D橡胶掩模。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于：有机树脂材料为PDMS或者Ecoflex，涂敷厚度0.3mm。