[发明专利]一种动态调整多焦点的激光微孔加工方法

权利要求书

1.一种动态调整多焦点的激光微孔加工方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1.将所需加工的工件表面研磨抛光，固定于工作平台上，移动工作平台使工件位于激光加工系统的下方；

S2.激光加工前，开启激光加工系统完成工件表面的激光对焦后，关闭激光加工系统；

S3.激光加工时，先移动工件并选定微孔加工区域位于激光加工系统的动态聚焦镜片组下方，开启激光加工系统；

S4.由激光器发出激光束，经反射镜进入扩束镜，再依次进入动态聚焦镜片组的至少二个聚焦镜并分别形成相应的焦点于工件的微孔加工区域；

S5.根据工件的微孔加工要求，动态聚焦镜片组中的至少二个聚焦镜可沿X方向移动，以调节焦点的数量；

S6.动态聚焦镜片组中的至少二个聚焦镜可沿Y方向调整相互之间的距离以调节相应焦点在工件微孔加工区域的相对位置，通过改变聚焦光斑直径及焦点位置以减小随微孔加工深度增加而造成的激光能量损失，进而完成工件的微孔加工；其中，步骤S5与S6同时进行；

所述动态聚焦镜片组包括至少二个聚焦镜；所述至少二个聚焦镜可分别沿X方向与Y方向移动，且各聚焦镜的各方向移动是相互独立的，通过调节动态聚焦镜片组内至少二个聚焦镜的相对位置，实现聚焦光斑直径与焦距可调；所述动态聚焦镜片组的聚焦镜数量根据工件厚度及微孔加工要求增减;当微孔加工较浅时，通过聚焦于材料表面的激光焦点去除材料，聚焦于材料内部的激光焦点预热材料，提高了加工效率；当微孔加工较深时，通过调节聚焦镜的相对位置，将激光焦点下移，并根据实际情况调整聚焦光斑的直径，进行深孔加工，同时去除多余的材料，有利于提高微孔加工的深径比及加工质量。

2.根据权利要求1所述的一种动态调整多焦点的激光微孔加工方法，其特征在于，所述激光加工系统包括激光器、反射镜、扩束镜、动态聚焦镜片组。

3.根据权利要求1所述的一种动态调整多焦点的激光微孔加工方法，其特征在于，所述X方向与激光束经扩束镜后的传递方向垂直；所述Y方向与激光束经扩束镜后的传递方向平行。