[发明专利]一种腔室检漏系统

权利要求书

1.一种腔室检漏系统，其特征在于，包括：

与待检漏腔室连接的结构件、检漏设备和抽真空设备；所述待检漏腔室与所述结构件围成封闭空间；所述抽真空设备用于对所述封闭空间进行抽真空处理；所述检漏设备用于在所述封闭空间达到第一预设压力值后，通过向所述封闭空间的至少一处疑似泄漏点注入检测气体，并检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断实际泄漏点的位置；

所述结构件包括：一端与所述待检漏腔室连接的中空的连接架，以及与所述连接架的另一端连接的盲板；所述待检漏腔室、所述连接架与所述盲板围成封闭空间；

所述待检漏腔室与所述连接架的一端相接触的位置处设置有内外两圈环形凹槽，且内圈环形凹槽中设置有内侧密封圈，外圈环形凹槽中设置有外侧密封圈；

所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽相通；所述检漏设备包括检漏仪、气瓶，以及嵌入在所述连接架内的气管，所述盲板与所述连接架相接触的位置处设置有通孔，所述气管的一端与所述内圈环形凹槽和所述外圈环形凹槽之间的区域相通、另一端与所述盲板上的通孔相通；所述气瓶内盛装有检测气体，其通过所述盲板上的通孔与所述气管连通，用于向所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽之间的区域注入检测气体；所述检漏仪与所述封闭空间连通，用于通过检测所述封闭空间是否溢出检测气体来判断所述内侧密封圈处是否存在实际泄漏点；

所述抽真空设备还用于将所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽之间的区域内的检测气体抽走，并使所述封闭空间恢复第一预设压力值；所述检漏设备还包括喷枪，所述气瓶与所述气管之间的通路断开并与所述喷枪连通，所述喷枪用于在所述待检漏腔室外沿所述待检漏腔室与所述连接架之间的区域移动并喷吹检测气体；所述检漏仪与所述封闭空间之间的通路断开并与所述气管连通，用于通过检测所述气管是否溢出检测气体来判断所述外侧密封圈处是否存在实际泄漏点；

所述抽真空设备还用于将所述内圈环形凹槽与所述外圈环形凹槽之间的区域内的检测气体抽走，并使所述封闭空间恢复第一预设压力值；所述检漏设备还包括吸枪，所述检漏仪与所述封闭空间之间的通路断开并与所述吸枪连通，所述吸枪用于在所述待检漏腔室外沿所述待检漏腔室和所述连接架之间的区域移动并吸收检测气体；所述检漏仪用于通过检测所述待检漏腔室和所述连接架之间的区域是否溢出检测气体来判断所述外侧密封圈处是否存在实际泄漏点。

2.根据权利要求1所述的腔室检漏系统，其特征在于，

所述抽真空设备包括分别通过管线接入所述封闭空间的干泵和分子泵；所述干泵用于对所述封闭空间进行初步抽真空处理，直至所述封闭空间达到第二预设压力值；所述分子泵用于在所述封闭空间达到第二预设压力值后，与所述干泵一起对所述封闭空间进行进一步抽真空处理，直至所述封闭空间达到第一预设压力值。

3.根据权利要求2所述的腔室检漏系统，其特征在于，

所述第二预设压力值的范围为10Pa～50Pa。

4.根据权利要求1所述的腔室检漏系统，其特征在于，

所述第一预设压力值的范围为10^-5Pa～10^-4Pa。

5.根据权利要求1所述的腔室检漏系统，其特征在于，

所述检测气体为氦气。