[发明专利]一种可调控形貌的金属纳米结构阵列及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种可调控形貌的金属纳米结构阵列的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：在单晶硅片上制备纳米图形阵列；

S2：置于氢氟酸和金属盐的混合溶液中于0~100 ℃下进行反应；洗涤，吹干即得到可调控形貌的金属纳米结构阵列；所述混合溶液中，氢氟酸的浓度为10^-5～10 mol/L，金属盐的浓度为10^-7～10 mol/L。

2.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，S1中制备纳米图形阵列的过程为：在单晶硅片上制备掩膜层，然后利用聚焦离子束光刻、电子束光刻或纳米球光刻制备纳米图形阵列。

3.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，S1中所述纳米图形阵列为二氧化硅纳米图形阵列、氮化硅纳米图形阵列、铬纳米图形阵列、金纳米图形阵列或银纳米图形阵列。

4.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，S1中所述纳米图形阵列的图形形状为圆形、扇形或多边形。

5.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，S1中所述纳米图形阵列的图形面积为1nm²~1 μm²，相邻图形之间的中心距为2~100 mm。

6.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，S2所述混合溶液中，氢氟酸的浓度为0.0025~1 mol/L，金属盐的浓度为10^-6~0.3 mol/L。

7.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，S2中金属盐为硝酸银、四氯金酸、硫酸铜、硫酸钴、硫酸镍、氯铂酸或氯钯酸铵。

8.根据权利要求1所述制备方法，其特征在于，S2中反应的时间为1 s～30 min。

9.一种可调控形貌的金属纳米结构阵列，其特征在于，通过权利要求1~8任一所述制备方法制备得到。

10.权利要求9所述金属纳米结构阵列在表面等离子体共振、催化、生物技术或传感领域中的应用。