[发明专利]一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置有效
申请号: | 201811133840.X | 申请日: | 2018-09-27 |
公开(公告)号: | CN110970336B | 公开(公告)日: | 2022-05-03 |
发明(设计)人: | 何龙;施小罗 | 申请(专利权)人: | 湖南嘉业达电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;H01L21/67;H01L41/22 |
代理公司: | 长沙智德知识产权代理事务所(普通合伙) 43207 | 代理人: | 陈铭浩 |
地址: | 415500 湖南省*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 压电 元件 陶瓷 处理 装置 | ||
1.一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:包括超声波清洗机(1)、高温高压老化烤箱(4)、支撑板(12)、放料机构、升降机构和移动机构,所述超声波清洗机(1)一侧的地面(7)上安装有支撑板(12),且超声波清洗机(1)另一侧的地面(7)上安装有风干框(2),所述高温高压老化烤箱(4)位于风干框(2)一侧,且风干框(2)内壁两侧安装有多个风扇机(3);
所述放料机构包括方体斗框(14)、长方体框(15)、第二电动推杆(16)、圆弧条框(17)和第一电动推杆(13),所述方体斗框(14)底部端口安装在长方体框(15)顶部端口,且长方体框(15)两侧底部中间位置活动安装有第二电动推杆(16)一端,所述长方体框(15)顶部端口两侧活动安装有两个圆弧条框(17),且圆弧条框(17)外侧圆弧面中部活动安装在第二电动推杆(16)的伸缩杆一端,所述第一电动推杆(13)的伸缩杆一端安装在长方体框(15)一侧表面中部;
所述升降机构包括第三电动推杆(19)、圆杆(8)、承载方板(9)和条形侧板(10),所述承载方板(9)放置在超声波清洗机(1)内底部,且承载方板(9)顶部四角处均垂直安装有圆杆(8),所述圆杆(8)一端通过连接杆与对应的第三电动推杆(19)的伸缩杆一端连接,所述承载方板(9)顶部等距安装有多组条形侧板(10),且每组设有两个所述条形侧板(10),每组两个所述条形侧板(10)垂直对称安装在承载方板(9)顶部表面;
所述移动机构包括U型长板(18)、导轨(6)、单槽轮(21)和伺服电机(22),所述导轨(6)设有两个,且两个所述导轨(6)平行位于超声波清洗机(1)两侧,所述U型长板(18)内对称安装有两个单槽轮(21),且U型长板(18)通过单槽轮(21)与对应的导轨(6)滚动连接,所述U型长板(18)一侧安装有伺服电机(22),且伺服电机(22)的轴杆安装在单槽轮(21)一侧的轴杆一端,所述U型长板(18)顶部垂直对称安装有两个第三电动推杆(19);所述第一电动推杆(13)安装在支撑板(12)一侧顶部,且第一电动推杆(13)的伸缩杆一端穿过支撑板(12)内侧表面。
2.根据权利要求1所述的一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:所述承载方板(9)顶部每组的两个条形侧板(10)之间对称竖直安装有两个网格板(20),且两个所述网格板(20)之间的距离大于压电陶瓷基片的厚度。
3.根据权利要求1所述的一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:所述长方体框(15)的端口宽度等于一个压电陶瓷基片的厚度。
4.根据权利要求1所述的一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:所述圆弧条框(17)为圆筒的四分之一结构,且两个所述圆弧条框(17)之间展开的宽度等于压电陶瓷基片的厚度。
5.根据权利要求1所述的一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:所述导轨(6)部分位于风干框(2)内底部的地面(7)上,且其中一个导轨(6)一侧的地面(7)上等距放置有多个高温高压老化烤箱(4)。
6.根据权利要求1所述的一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:所述超声波清洗机(1)一侧安装有清洗控制面板(11),且超声波清洗机(1)的放置端口为长方形结构。
7.根据权利要求1所述的一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:所述高温高压老化烤箱(4)一侧安装有控温操作面板(5),且高温高压老化烤箱(4)内部放置空间大于承载方板(9)与条形侧板(10)形成的立体空间。
8.根据权利要求1所述的一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:所述第一电动推杆(13)、第二电动推杆(16)及第三电动推杆(19)分别安装有对应的编码器,且第一电动推杆(13)、第二电动推杆(16)及第三电动推杆(19)分别通过导电线与外接电源电性连接。
9.根据权利要求1所述的一种用于压电元件的压电陶瓷基片处理装置,其特征在于:所述连接杆两端分别与第三电动推杆(19)的伸缩杆一端螺栓连接及圆杆(8)一端螺栓连接,且第三电动推杆(19)的伸缩杆一端和圆杆(8)一端均开设有连接孔。
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