[发明专利]一种提升压电元件电极结合力的表层处理装置

说明书

本发明公开了一种提升压电元件电极结合力的表层处理装置，包括机台、内腔、直线电机开关、触碰块、直线电机、柱体圆板、支架、压电元件、支撑板、顶板、电动推杆、第一箱体、电机支架、电机、固定件、第二箱体、传动轴、横杆、弹簧伸缩杆、打磨片安装板、打磨片、轴承、第一筒体、通风孔、活性炭过滤网、管道风机、电加热丝、第二筒体、UVLED光源照射机和聚光镜。本发明设置的电机可以有效的带动打磨片转动，配合电动推杆带动打磨片在竖直方向上的移动，可以有效的通过打磨片打磨压电元件的顶部表面，以便于满足后期加工要求；设置的管道风机可以有效的将第一筒体内部的热空气吹送至压电元件表面，便于烘干压电元件表面的水分。

技术领域

本发明涉及一种压电元件加工装置，具体是一种提升压电元件电极结合力的表层处理装置，属于压电元件加工设备技术领域。

背景技术

压电元件是利用材料的压电效应制成的器件。大多数压电器件的结构由电极、压电片、支架和外壳组成，由于压电元器件的金属电极与压电基片之间的结合力是压电效能得以充分发挥的首分前提，特别是在要求承受功率冲击的应用场合，电极结合力就更为关键，直接影响元件使用。

在常规制作压电元件电极的时候，需要打磨压电元件的表层，以便于为后期溅射电极层做铺垫；而且，由于压电元件表面或多或少存在一些水分，需要将水分烘干才能够进行溅射电极操作；使压电元件表面产生一些含氧极性官能团可以使溅射的电极与压电元件之间的结合力更为紧密。因此，针对上述问题提出一种提升压电元件电极结合力的表层处理装置。

发明内容

本发明的目的就在于为了解决上述问题而提供一种提升压电元件电极结合力的表层处理装置。

本发明通过以下技术方案来实现上述目的，一种提升压电元件电极结合力的表层处理装置，包括机台、打磨机构、烘干机构和压电元件表面氧化机构，其中，所述机台的表面等距开设三个相同的内腔，三个所述内腔的底部内壁均固接有直线电机开关，所述直线电机开关的顶端固接有触碰块，所述触碰块的顶端贯穿内腔的顶部并置于内腔的外部，所述机台的顶部表面右端固接有支撑板，所述支撑板的顶端固接有顶板，所述顶板的底部从左至右依次固接有电动推杆、第一筒体和第二筒体；

所述打磨机构包括第一箱体、电机和打磨片，所述电动推杆的底端固接有第一箱体，所述第一箱体的内壁通过电机支架固接电机，所述第一箱体的底端通过固定件固接第二箱体，所述电机的输出端固接传动轴，所述传动轴的底端依次贯穿第一箱体的底部和第二箱体的顶部并置于第二箱体的内部，所述传动轴的底端固接横杆，所述横杆的底端通过若干弹簧伸缩杆弹性连接打磨片安装板，所述打磨片安装板的底端固接有打磨片，所述打磨片的底端贯穿第二箱体并置于第二箱体的外部；

所述烘干机构包括活性炭过滤网、管道风机和电加热丝，所述第一筒体的内壁从上到下依次固接有活性炭过滤网、管道风机和电加热丝，所述第一筒体的侧壁顶端均匀开设若干相同的通风孔；

所述压电元件表面氧化机构包括UVLED光源照射机和聚光镜，所述顶板的顶部表面右侧固接有UVLED光源照射机的控制器，所述UVLED光源照射机的导线末端贯穿顶板和第二筒体的侧壁并置于第二筒体的内部，且所述UVLED光源照射机导线的末端电性连接UVLED光源照射机的输出端，所述UVLED光源照射机的输出端固接在第二筒体的内部，所述第二筒体的外壁底部套接有聚光镜；

所述机台的顶部表面固接有直线电机，所述直线电机的输出端顶部固接有柱体，所述柱体的顶部固接圆板，所述圆板的顶部均匀固接三个支架，三个所述支架之间卡合有压电元件。

优选的，三个所述触碰块与电动推杆、第一筒体和第二筒体之间分别一一对应。

优选的，所述电动推杆、所述第一筒体和所述第二筒体之间的间距相等。

优选的，所述活性炭过滤网与所述管道风机之间的距离小于管道风机与电加热丝之间的距离。