[发明专利]大孔径合束镜的模系均匀性修正方法及装置

权利要求书

1.一种大孔径合束镜的模系均匀性修正方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1、沿镀膜基盘片径向取N个点，测量镀膜厚度为d₁，d₂，……，d_N，对应的镀膜基盘片径向半径为r₁,r₂,……,r_N,取膜厚最大处为d_max，最薄处为d_min，对应的镀膜基盘片径向半径为r_max,r_min；

S2、膜厚最大的径向位置对应的修正板最宽处，测量该最宽处的中心角为θ_max，计算膜厚沿径向分布的权重因子c₁＝d₁/d_max,c₂＝d₂/d_max，……,c_N＝d_N/d_max；修正板最宽处作为原点进行均匀性修正板轮廓迭代求解，由公式(1-θ_max/2pi)＝c₁*(1-θ₁/2pi)＝c₂*(1-θ₂/2pi)＝……＝c_N*(1-θ_N/2pi)计算初始修正板的轮廓；

S3、利用计算后的初始修正板进行镀膜修正，再次测量膜厚分别为d’₁，d’₂，……，d’_N，取膜厚最大处为d’_max；

S4、计算新的修正系数为c’₁＝(1-d’₁/d’_max),c’₂＝(1-d’₂/d’_max),……,c’_N＝(1-d’_N/d’_max)；

S5、计算新的修正版轮廓因子为θ_1，new＝c’₁*θ_1，current，θ_2，new＝c’₁*θ₂，_current，……，θ_N，new＝c’_N*θ_N，current；

S6、根据(d’_max-d’_min)/(d’_max+d’_min)的值是否小于预设值来判断镀膜厚度均匀性是否满足要求,如果不满足要求，则重复步骤S3～S5，直到满足均匀性要求，得到最终修正板轮廓。

2.根据权利要求1所述的大孔径合束镜的模系均匀性修正方法，其特征在于，所述预设值为小于等于0.3％。

3.一种大孔径合束镜的模系均匀性修正装置，其特征在于，该装置包括镀膜基盘片和多个合束镜，以及用于遮挡入射材料的模系均匀性修正板；

多个合束镜放置在镀膜基盘片的同心圆环内，每个合束镜的中心到镀膜基盘中心距离相等；

所述模系均匀性修正板沿镀膜基盘片径向安装，不随基盘片旋转，该模系均匀性修正板根据权利要求1的方法得到。

4.根据权利要求3所述的大孔径合束镜的模系均匀性修正装置，其特征在于，所述镀膜基盘片在镀膜时，旋转速度不小于300转/分钟。