[发明专利]一种高精度单晶硅切割用顶针装置在审

专利信息
申请号: 201811134033.X 申请日: 2018-09-27
公开(公告)号: CN110948717A 公开(公告)日: 2020-04-03
发明(设计)人: 薛佳伟;薛佳勇;王海军 申请(专利权)人: 天津众晶半导体材料有限公司
主分类号: B28D5/02 分类号: B28D5/02;B28D7/00;B28D7/04
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 300000 天津市北*** 国省代码: 天津;12
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摘要:
搜索关键词: 一种 高精度 单晶硅 切割 顶针 装置
【权利要求书】:

1.一种高精度单晶硅切割用顶针装置,包括固定箱(1)、真空泵(6)、机床(8)和液压泵(19),其特征在于:所述机床(8)的上端面一侧中间处固定有置物台(9),所述机床(8)上端面两侧均固定有滑轨(3),所述滑轨(3)内滑动安装有支杆(2),所述支杆(2)共设有两个,且两个支杆(2)背离滑轨(3)的一端分别固定在固定箱(1)的下端面两端,所述固定箱(1)的内部中间处固定有液压装置(12),所述液压装置(12)的上端通过油管(20)连接有在液压泵(19)上,所述液压装置(12)的下端通过转轴(13)转动安装有控位盘(14),所述控位盘(14)的外侧固定有把手(11),所述控位盘(14)的下端面中间处固定有盒体(17),所述盒体(17)的下端面中间处固定有吸盘(16),所述盒体(17)的一侧连接有软管(7),所述软管(7)背离盒体(17)的一端固定在真空泵(6)上,所述机床(8)上端面中间处背离置物台(9)的一侧固定有电机(18),所述电机(18)的一侧转动安装有刀片(21)。

2.根据权利要求1所述的一种高精度单晶硅切割用顶针装置,其特征在于:所述机床(8)的下端面固定有支腿(5),所述支腿(5)共设有四个,且四个支腿(5)呈阵列分布。

3.根据权利要求1所述的一种高精度单晶硅切割用顶针装置,其特征在于:所述机床(8)的一侧固定有控制面板(4),所述机床(8)背离控制面板(4)的一侧固定有外接电源线。

4.根据权利要求1所述的一种高精度单晶硅切割用顶针装置,其特征在于:所述把手(11)共设有四个,且四个把手(11)呈环形阵列,所述把手(11)的一端套接有防滑套。

5.根据权利要求1所述的一种高精度单晶硅切割用顶针装置,其特征在于:所述盒体(17)的下端面中间处开设有气孔(15),且气孔(15)连接吸盘(16)的内部中间处。

6.根据权利要求1所述的一种高精度单晶硅切割用顶针装置,其特征在于:所述真空泵(6)和液压泵(19)均位于机床(8)的下侧,所述软管(7)的中间处通过吊带(10)固定在固定箱(1)的下端面一侧。

7.根据权利要求1所述的一种高精度单晶硅切割用顶针装置,其特征在于:所述刀片(21)的下方开设有转动槽,且转动槽位于机床(8)上。

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