[发明专利]检查方法及检查装置

说明书

本发明的实施方式涉及检查方法及检查装置。实施方式的检查方法具备粗校准工序和精校准工序，在粗校准工序中，取得作为确认相对于X、Y方向的样品(2)的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下的粗校准中使用的图案而预先设定的第1及第2图案的光学图像，基于取得结果，确认位置偏移量是否为第1容许值以下，在精校准工序中，在确认了为第1容许值以下的情况下，取得在样品(2)的光学图像上位于以沿着X、Y方向的四边构成的矩形框的不同的角部上、且在对位置偏移进行校正的精校准中使用的第3图案的光学图像，使台架(6)旋转，直到基于第3图案的光学图像检测到的位置偏移量达到比第1容许值小的第2容许值以下为止。

技术领域

本发明涉及检查方法及检查装置。

背景技术

在光刻法所使用的光掩模(以下，也简称为掩模)上所形成的图案的缺陷的检查中，采用了如下的自动校准方法：在开始检查之前，自动进行对位以避免被装载在具有能够载置掩模的XY平面的台架上的掩模相对于作为台架的移动方向的X方向或Y方向具有倾斜。在以往的自动校准方法中，为了自动校准而预先在掩模的检查区域形成例如十字形状等的特定图案，并从以高倍率对掩模进行拍摄而得到的高倍图像中检测特定图案。然后，基于检测到的特定图案，使台架与掩模一起旋转，来进行自动校准，以消除掩模相对于台架的移动方向的倾斜，该台架的移动方向沿着将应该检查图案缺陷的掩模的检查区域虚拟分割为多个长条状而成的条纹。

但是，以往的自动校准方法，将形成有专门针对自动校准的特定图案的掩模作为对象，未形成有特定图案的一般的掩模不作为对象。即，在为不具有特定图案的掩模的情况下，无法实施上述自动校准。希望提高校准的通用性。

发明内容

本发明提供即使是不具有特定图案的掩模也能够进行台架的旋转中的自动校准的检查方法及检查装置。

本发明的一个方式的检查方法，使用具备台架的检查装置，检查在样品的检查区域所设置的图案的缺陷，该台架具有能够载置样品的XY平面，能够在X方向及Y方向上移动并且能够绕相对于XY平面大致垂直的Z轴旋转，该检查方法包括：

实施粗校准的工序，在粗校准中，确认相对于上述X方向或上述Y方向的、上述样品的旋转方向上的位置偏移量是否为第1容许值以下；以及

实施精校准的工序，在精校准中，进行校正以使上述位置偏移量达到比上述第1容许值小的第2容许值以下，

上述实施粗校准的工序包括：

取得作为上述粗校准中使用的图案而预先设定的上述样品的检查区域上的第1图案的光学图像，

从上述第1图案的光学图像被取得时的上述台架的位置起，使上述台架在上述X方向或上述Y方向上以预先决定的移动量移动，

在使上述台架以上述移动量移动了时，在取得了上述检查区域上的第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量为上述第1容许值以下，该第2图案作为上述粗校准中使用的图案而预先设定、并且相对于上述第1图案在上述X方向或上述Y方向上分离而配置，另一方面，在未取得上述第2图案的光学图像的情况下，认定为上述位置偏移量比上述第1容许值大，

上述实施精校准的工序包括：

在通过上述粗校准确认了上述位置偏移量为上述第1容许值以下的情况下，取得上述精校准中使用的多个第3图案的光学图像，该多个第3图案的光学图像在上述样品的光学图像的上述检查区域上位于以沿着上述X方向或上述Y方向的四边构成的矩形框的不同的多个角部上，

基于所取得的上述多个第3图案的光学图像，检测上述位置偏移量，

使上述台架旋转，直到所检测到的上述位置偏移量达到上述第2容许值以下为止。

在上述的检查方法中，可以是，