[发明专利]小型压电谐振器

权利要求书

1.一种压电谐振器(1)，包括基座(2)和沿晶轴X的方向连接到所述基座(2)的至少两个振动臂(3，3’)，其中所述振动臂(3，3’)从所述基座沿晶轴+Y或-Y的方向延伸，其中在所述臂(3，3’)的一部分长度上沿着所述晶轴+Y或-Y在位于每个臂(3，3’)的+Z侧的上表面上形成有至少一个第一沟槽(4a，4a’)，并且其中在所述臂(3，3’)的一部分长度上且与所述第一沟槽(4a，4a’)相对地以不对称布置沿着所述晶轴+Y或-Y在位于每个臂(3，3’)的-Z侧的下表面上形成有至少一个第二沟槽(4b，4b’)，

其特征在于，所述第一沟槽(4a，4a’)的深度小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％或超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％，

所述第二沟槽(4b，4b’)的深度在所述第一沟槽(4a，4a’)的深度小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％的情况下超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％，或在所述第一沟槽(4a，4a’)的深度超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％的情况下小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％，

所述谐振器包括通过连接部连接到所述基座(2)并且平行于所述基座(2)的每个臂(3，3’)的第一细长部分和通过横向部连接到所述第一细长部分的平行于所述第一细长部分的每个臂(3，3’)的第二细长部分，其中，所述谐振器包括在每个臂(3，3’)的第一细长部分的上表面上形成的具有第一深度的第一沟槽(4a，4a’)和具有与所述第一深度不同的第二深度的第一互补沟槽(14a，14a’)，并且

所述谐振器包括在每个臂(3，3’)的第二细长部分的上表面上形成的具有第二深度的第三沟槽(6a，6a’)和具有与所述第二深度不同的第一深度的第三互补沟槽(16a，16a’)，所述谐振器包括在每个臂(3，3’)的第一细长部分的下表面上形成的分别与每个臂(3，3’)的第一细长部分的上表面的第一沟槽(4a，4a’)和第一互补沟槽(14a，14a’)相对的具有第二深度的第二沟槽(4b，4b’)和具有与所述第二深度不同的第一深度的第二互补沟槽(14b，14b’)，所述谐振器包括在每个臂(3，3’)的第二细长部分的下表面上形成的分别与每个臂(3，3’)的第二细长部分的上表面的第三沟槽(6a，6a’)和第三互补沟槽(16a，16a’)相对的具有第一深度的第四沟槽(6b，6b’)和具有与所述第一深度不同的第二深度的第四互补沟槽(16b，16b’)，并且所述第一深度小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％并且第二深度超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％，或第二深度小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％并且第一深度超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％；或者，所述谐振器包括在每个臂(3，3’)的第二细长部分的上表面上形成的具有第一深度的第三沟槽(6a，6a’)和具有与所述第一深度不同的第二深度的第三互补沟槽(16a，16a’)，所述谐振器包括在每个臂(3，3’)的第一细长部分的下表面上形成的分别与每个臂(3，3’)的第一细长部分的上表面的第一沟槽(4a，4a’)和第一互补沟槽(14a，14a’)相对的具有第二深度的第二沟槽(4b，4b’)和具有与所述第二深度不同的第一深度的第二互补沟槽(14b，14b’)，所述谐振器包括在每个臂(3，3’)的第二细长部分的下表面上形成的分别与每个臂(3，3’)的第二细长部分的上表面的第三沟槽(6a，6a’)和第三互补沟槽(16a，16a’)相对的具有第二深度的第四沟槽(6b，6b’)和具有与所述第二深度不同的第一深度的第四互补沟槽(16b，16b’)，并且所述第一深度小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％并且第二深度超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％，或第二深度小于每个臂(3，3’)的总厚度的30％并且第一深度超过每个臂(3，3’)的总厚度的50％。