[发明专利]真空镀膜机在审
申请号: | 201811140551.2 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN109023259A | 公开(公告)日: | 2018-12-18 |
发明(设计)人: | 李贵扬 | 申请(专利权)人: | 东莞市腹灵竞技电子有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/50 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 张艳美;郝传鑫 |
地址: | 523000 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 连通管 容置腔 镀膜 筒体 真空镀膜机 镀膜材料 冷却装置 收集装置 连通 抽真空装置 裂解室 蒸发室 导出 裂解 腔内 首端 沉积 积聚 蒸发 | ||
1.一种真空镀膜机,所述真空镀膜机包括镀膜筒体、抽真空装置、供镀膜材料蒸发用的蒸发室以及供镀膜材料裂解用的裂解室,所述镀膜筒体开设有容置腔,所述抽真空装置与所述镀膜筒体的容置腔相连通,所述裂解室连通于所述蒸发室和镀膜筒体的容置腔之间,其特征在于:所述真空镀膜机还包括连通管、收集装置及冷却装置,所述连通管的首端与所述容置腔连通,所述连通管的末端与所述冷却装置连通,所述收集装置设于所述连通管位于所述镀膜筒体与所述冷却装置之间的部位上,所述收集装置还与所述连通管相连通。
2.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:还包括安装于所述连通管上并位于所述镀膜筒体和所述收集装置之间的阀门。
3.如权利要求2所述的真空镀膜机,其特征在于:所述连通管包括相互对接连通的第一连通管和第二连通管,所述第一连通管的一端与所述容置腔连通,所述第一连通管的另一端与所述第二连通管的一端连通,所述第二连通管的另一端与所述冷却装置连通,所述收集装置设置于所述第一连通管的底部,所述阀门位于所述第一连通管上。
4.如权利要求3所述的真空镀膜机,其特征在于:所述第一连通管呈H字形。
5.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:还包括输送管,所述输送管依次与所述蒸发室、裂解室及镀膜筒体的容置腔连通。
6.如权利要求5所述的真空镀膜机,其特征在于:所述输送管的外表面包裹有保温层。
7.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:还包括门板,所述门板位于所述镀膜筒体的侧壁并与所述镀膜筒体转动连接。
8.如权利要求7所述的真空镀膜机,其特征在于:还包括自动锁紧装置,所述自动锁紧装置安装于所述门板及镀膜筒体中一者上,所述门板及镀膜筒体中的另一者具有向外凸起的凸件,所述自动锁紧装置驱动所述门板相对所述镀膜筒体转动并选择性地锁紧所述凸件或释放对所述凸件的锁紧。
9.如权利要求8所述的真空镀膜机,其特征在于:所述自动锁紧装置包括驱动电机以及锁紧钩,所述驱动电机与所述锁紧钩连接,所述驱动电机驱动所述锁紧钩选择性地锁紧所述凸件或释放对所述凸件的锁紧。
10.如权利要求1所述的真空镀膜机,其特征在于:还包括驱动待镀工件旋转用的旋转装置。
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