[发明专利]一种变形镜形变补偿的校正装置及补偿方法

权利要求书

1.一种变形镜形变补偿的校正装置的补偿方法，其特征在于，所述的一种变形镜形变补偿的校正装置，包括变形镜(2)，变形镜(2)的下方粘结有透明复合材料薄膜(3)，透明复合材料薄膜(3)的外圈均匀连接有4个以上的夹取装置(4)，夹取装置(4)外侧通过调节旋钮(6)和镜筒(1)的上部连接，镜筒(1)的上部和下部通过紧固螺钉(9)连接成一体；夹取装置(4)和镜筒(1)的上部之间的调节旋钮(6)外侧设有弹簧(5)，弹簧(5)和夹取装置(4)固连，夹取装置(4)的下表面与镜筒(1)的下部上表面接触；透明复合材料薄膜(3)下方的镜筒(1)的下部上表面设有顶柱(7)，顶柱(7)和微调旋钮(8)通过螺纹连接固定在镜筒(1)的下部底部；

所述的补偿方法包括以下步骤：

步骤1)：按照顺时针或者逆时针的顺序，通过调节旋钮(6)拉伸弹簧(5)，每个弹簧(5)对透明复合材料薄膜(3)施加的初始张紧力为0.1～100N；

步骤2)：按照顺时针或者逆时针的顺序，控制微调旋钮(8)使顶柱(7)与透明复合材料薄膜(3)的下表面接触，然后使用激光干涉仪(10)测量此时变形镜(2)的面形数据；

步骤3)：根据步骤2)的面形数据，调节相应的调节旋钮(6)，减小变形镜(2)的面形误差；

步骤4)：根据步骤2)的面形数据，调节相应的微调旋钮(8)，提高变形镜(2)与镜筒(1)下部的上表面的平行度；

步骤5)：测量调节后的变形镜(2)的面形数据，利用电脑进行数据处理，比较实际面形与理想面形的偏差；如果面形数据满足使用要求，则补偿完成；如果面形数据不满足使用要求，则从电脑发出相应的反馈信号，控制相应的调节旋钮(6)和微调旋钮(8)；

步骤6)：重复步骤5)，实现闭环调节直到偏差满足要求，从而得到理想面形。

2.根据权利要求1所述的一种变形镜形变补偿的校正装置的补偿方法，其特征在于：所述的变形镜(2)的直径为10～300mm。

3.根据权利要求1所述的一种变形镜形变补偿的校正装置的补偿方法，其特征在于：所述的透明复合材料薄膜(3)的直径比变形镜(2)的镜面直径大5～100mm。

4.根据权利要求1所述的一种变形镜形变补偿的校正装置的补偿方法，其特征在于：所述的透明复合材料薄膜(3)厚度为0.02～1mm。

5.根据权利要求1所述的一种变形镜形变补偿的校正装置的补偿方法，其特征在于：所述的透明复合材料薄膜(3)为弹性体材料。

6.根据权利要求1所述的一种变形镜形变补偿的校正装置的补偿方法，其特征在于：所述的紧固螺钉(9)围绕镜筒(1)的轴心圆周排布，个数为3～32个。

7.根据权利要求1所述的一种变形镜形变补偿的校正装置的补偿方法，其特征在于：所述的弹簧(5)围绕镜筒(1)的轴心圆周排布，个数为4～32个。

8.根据权利要求1所述的一种变形镜形变补偿的校正装置的补偿方法，其特征在于：所述的顶柱(7)围绕镜筒(1)的轴心圆周排布，个数为3～32个。