[发明专利]柔性显示基板及其制造方法、显示装置有效
申请号: | 201811142468.9 | 申请日: | 2018-09-28 |
公开(公告)号: | CN109300947B | 公开(公告)日: | 2021-09-07 |
发明(设计)人: | 张帅;李小龙;左岳平;陈善韬;孟秋华;刘明 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 柔性 显示 及其 制造 方法 显示装置 | ||
1.一种柔性显示基板,包括:
柔性的衬底基板;
形成于所述衬底基板之上的第一金属层;
覆盖于所述第一金属层之上的绝缘层,所述绝缘层上开设过孔;
设置于所述绝缘层之上的第二金属层;
其特征在于,
所述过孔包括相对的第一端和第二端、及位于所述第一端和所述第二端之间的内侧壁,所述第二端位于所述绝缘层的靠近所述第一金属层的一侧面上,且所述第二端的开口暴露所述第一金属层,所述第一端位于所述绝缘层的靠近所述第二金属层的一侧面上;
其中,在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域覆盖有应力缓冲层,所述第二金属层覆盖于所述应力缓冲层上,并通过所述第二端的开口与所述第一金属层进行电连接;
所述应力缓冲层的厚度为纳米级别,所述应力缓冲层的厚度大于或等于5nm,小于10nm;
所述应力缓冲层为采用纳米压印方式在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域所形成的纳米压印缓冲层。
2.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其特征在于,
所述应力缓冲层为采用树脂材料制成的树脂层。
3.根据权利要求2所述的柔性显示基板,其特征在于,
所述树脂层所采用的树脂材料包括聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸酯、乙烯基醚和环氧树脂中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其特征在于,
所述应力缓冲层在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域处的层厚相同。
5.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其特征在于,所述柔性显示基板为形成有驱动电路层和OLED显示器件的OLED显示基板。
6.根据权利要求1所述的柔性显示基板,其特征在于,
所述柔性显示基板为触控显示基板,其包括:形成有驱动电路层和OLED显示器件的OLED显示基板;及,设置于所述OLED显示基板上的触控功能层。
7.一种显示装置,其特征在于,包括如权利要求1至6任一项所述的柔性显示基板。
8.一种柔性显示基板的制造方法,其特征在于,所述方法包括:
提供一柔性的衬底基板;
在所述衬底基板上形成第一金属层;
在所述第一金属层上覆盖绝缘层,并在所述绝缘层上开设过孔,所述过孔包括相对的第一端和第二端、及位于所述第一端和所述第二端之间的内侧壁,所述第二端位于所述绝缘层的靠近所述第一金属层的一侧面上,且所述第二端的开口暴露所述第一金属层,所述第一端位于所述绝缘层的靠近第二金属层的一侧面上;
在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域形成应力缓冲层,所述应力缓冲层的厚度为纳米级别;
在所述应力缓冲层及所述绝缘层上覆盖第二金属层,其中所述第二金属层通过所述第二端的开口与所述第一金属层进行电连接;
所述在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域形成应力缓冲层,具体包括:
采用纳米压印方式在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域形成应力缓冲层。
9.根据权利要求8所述的方法,其特征在于,所述采用纳米压印方式在所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域形成应力缓冲层,具体包括:
在所述绝缘层上涂覆一层压印胶;
采用纳米压印方式,使所述压印胶中所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域的胶层厚度大于所述压印胶中除所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域之外的其他区域的胶层厚度;
采用灰化方式,去除所述压印胶中除所述过孔的内侧壁及所述过孔的第一端的开口边缘区域之外的其他区域的压印胶,以形成所述应力缓冲层。
10.根据权利要求9所述的方法,其特征在于,
所述压印胶所采用的树脂材料包括聚甲基丙烯酸甲酯、丙烯酸酯、乙烯基醚和环氧树脂中的一种或多种。
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H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
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H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的