[发明专利]一种曝光机的自动风门机构有效
申请号: | 201811144381.5 | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN109343312B | 公开(公告)日: | 2020-07-14 |
发明(设计)人: | 庞超群;陶薇 | 申请(专利权)人: | 张家港奇点光电科技有限公司 |
主分类号: | G03F7/20 | 分类号: | G03F7/20 |
代理公司: | 南京苏创专利代理事务所(普通合伙) 32273 | 代理人: | 杨勇 |
地址: | 215636 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 曝光 自动 风门 机构 | ||
1.一种曝光机的自动风门机构,其特征在于,该曝光机的自动风门机构,包括安装板(1),固定板(2),固定片(3),电机(4),减速机(5),上防护板(6),下防护板(7),轴承(8),旋转轴(9),风门盘(10),吸热片(11),安装螺栓(12),防尘通风筒结构(13),可拆卸通风散热管道结构(14)和可调节安装固定架结构(15),所述的固定板(2)固定在安装板(1)前表面的中间部位;所述的固定片(3)分别焊接在固定板(2)的上下两端,并与安装板(1)螺栓连接;所述的电机(4)固定在固定板(2)的内侧;所述的减速机(5)螺栓安装在安装板(1)前表面的中左侧,同时右侧与电机(4)的输出轴连接;所述的上防护板(6)和下防护板(7)分别焊接在安装板(1)前表面左侧的上下两部;所述的轴承(8)镶嵌在上防护板(6)和下防护板(7)之间;所述的旋转轴(9)穿过轴承(8),并与减速机(5)的左侧连接;所述的风门盘(10)通过安装螺栓(12)固定在旋转轴(9)前表面的左侧;所述的吸热片(11)焊接在风门盘(10)的前表面;所述的防尘通风筒结构(13)安装在安装板(1)左侧的中间部位;所述的可拆卸通风散热管道结构(14)安装在防尘通风筒结构(13)的后部;所述的可调节安装固定架结构(15)分别安装在安装板(1)的上下两部;所述的防尘通风筒结构(13)包括第一横杆(131),第二横杆(132),连通环(133),环孔(134),第一防护网(135)和第二防护网(136),所述的连通环(133)内部的环孔(134)与风门盘(10)对应,所述的环孔(134)直径比风门盘(10)的直径大二毫米至四毫米,所述的第一横杆(131)和第二横杆(132)一端分别焊接在安装板(1)左表面的上下两部,另一端分别焊接在连通环(133)右侧的上下两部;所述的环孔(134)开设在连通环(133)的内部;所述的第一防护网(135)和第二防护网(136)分别螺纹连接在环孔(134)内壁的前后两侧。
2.如权利要求1所述的曝光机的自动风门机构,其特征在于,所述的可拆卸通风散热管道结构(14)包括拆装头(141),上连通管(142),下连通管(143),密封盖(144),通风软管(145)和出风环(146),所述的上连通管(142)和下连通管(143)分别焊接在拆装头(141)的上下两端;所述的密封盖(144)螺纹连接在上连通管(142)和下连通管(143)的外侧;所述的通风软管(145)分别焊接在上连通管(142)和下连通管(143)的左侧,同时在上连通管(142)和下连通管(143)的左端焊接有出风环(146);所述的拆装头(141)螺纹连接在环孔(134)内壁的后部,所述的拆装头(141)与环孔(134)连通。
3.如权利要求1所述的曝光机的自动风门机构,其特征在于,所述的可调节安装固定架结构(15)包括安装片(151),组装头(152),连接杆(153),套管(154),插接杆(155)和调节螺栓(156),所述的组装头(152)焊接在安装片(151)内侧的下部,并与连接杆(153)螺纹连接;所述的套管(154)焊接在安装片(151)前表面的上部;所述的插接杆(155)后部插接在套管(154)内,并通过调节螺栓(156)固定住,前部与安装板(1)的外壁焊接。
4.如权利要求1所述的曝光机的自动风门机构,其特征在于,所述的第一防护网(135)和第二防护网(136)分别采用活性炭网和HEPA网。
5.如权利要求2所述的曝光机的自动风门机构,其特征在于,所述的通风软管(145)设置有多个,所述的通风软管(145)具体采用金属软管。
6.如权利要求2所述的曝光机的自动风门机构,其特征在于,所述的密封盖(144)设置有两个,所述的密封盖(144)内部上设置有橡胶环。
7.如权利要求3所述的曝光机的自动风门机构,其特征在于,所述的套管(154)和插接杆(155)相适配,并通过调节螺栓(156)固定住。
8.如权利要求3所述的曝光机的自动风门机构,其特征在于,所述的连接杆(153)设置在安装片(151)与安装片(151)之间;所述的安装片(151)具体采用不锈钢板。
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