[发明专利]定向麦克风

权利要求书

1.一种定向麦克风，包括：

基板，包括穿过其中的腔体，所述腔体包括第一部分和第二部分，其中，所述第一部分和所述第二部分一起包括整个所述腔体；

谐振器阵列，包括多个谐振器，其中，所述多个谐振器覆盖所述腔体的所述第一部分；以及

填充构件，覆盖所述腔体的未被所述谐振器阵列覆盖的整个所述第二部分，所述填充构件包括固定构件，所述固定构件覆盖所述腔体的所述第二部分的至少一部分，并且连接到所述基板；

其中，所述多个谐振器中的每一个谐振器的一个端部被固定到所述固定构件，并且所述多个谐振器中的每一个谐振器的其余部分能够响应于声学信号而移动；并且

其中，所述固定构件包括薄膜，所述薄膜具有与所述多个谐振器中的每一个谐振器的厚度相同的厚度，并且被布置为与所述多个谐振器中的对应的谐振器相关联地移动。

2.根据权利要求1所述的定向麦克风，其中，所述多个谐振器中的每一个谐振器还包括：

感测部分，被配置为感测所述其余部分的移动。

3.根据权利要求1所述的定向麦克风，其中，所述固定构件和所述多个谐振器中的每一个谐振器包括相同的材料。

4.根据权利要求1或2所述的定向麦克风，所述填充构件还包括：覆盖构件，覆盖所述腔体的所述第二部分的一部分。

5.一种定向麦克风，包括：

基板；

谐振器阵列，包括多个谐振器，所述多个谐振器中的每一个谐振器包括固定部分、能够响应于声学信号而移动的可移动部分、以及被配置为感测所述可移动部分的移动的感测部分；

腔体，完全穿过所述基板并且包括被所述谐振器阵列覆盖的第一部分和未被所述谐振器阵列覆盖的第二部分，其中，所述第一部分和所述第二部分一起包括整个所述腔体；以及

填充构件，覆盖所述腔体的未被所述谐振器阵列覆盖的整个所述第二部分，所述填充构件包括固定构件，所述固定构件覆盖所述腔体的所述第二部分的至少一部分；

其中，所述多个谐振器中的每一个谐振器的一个端部被固定到所述固定构件，并且所述多个谐振器中的每一个谐振器的其余部分能够响应于声学信号而移动；并且

其中，所述固定构件包括薄膜，所述薄膜具有与所述多个谐振器中的每一个谐振器的厚度相同的厚度，并且被布置为与所述多个谐振器中的对应的谐振器相关联地移动。

6.根据权利要求5所述的定向麦克风，其中，所述填充构件还包括：覆盖构件，覆盖所述腔体的所述第二部分的一部分。