[发明专利]一种基于缝纫式线芯结构的微型磁通门传感器在审
| 申请号： | 201811145216.1 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109358301A | 公开（公告）日： | 2019-02-19 |
| 发明（设计）人： | 吕辉;胡治国;李良;李成杰;梁智超 | 申请（专利权）人： | 河南理工大学 |
| 主分类号： | G01R33/04 | 分类号： | G01R33/04;B81B1/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 454003 河南省焦作*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 激励线 铁芯 感应线圈 磁通门 线芯结构 微型磁通门传感器 三维 螺线管结构 铁芯平面 缝纫 焊盘 矩形平面结构 穿过 传感器两端 螺线管线圈 折线形结构 基底制作 激励磁场 紧密耦合 连接导体 首尾相连 灵敏度 缝纫线 上下层 直线段 硅片 长边 减小 磁场 缠绕 连通 饱和 垂直 承载 | ||
【权利要求书】：
1.一种缝纫式线芯结构的微型磁通门传感器，其特征在于：包括铁芯1、激励线2、激励线引线焊盘3、感应线圈4、感应线圈引线焊盘5、衬底6和聚酰亚胺绝缘层7；铁芯采用软磁材料，为矩形平面结构；激励线2如缝纫线一样，上下往复穿过铁芯平面；感应线圈4使用三维螺线管结构直接缠绕在矩形平面铁芯的外部；激励线2和感应线圈4分别连接至激励线引线焊盘3和感应线圈引线焊盘5；铁芯和线圈之间由聚酰亚胺作为绝缘层。
2.根据权利要求1所述的缝纫式线芯结构微型磁通门传感器，其特征在于：激励线2采用由多条直线段首尾相连组成的折线结构，上下往复穿过铁芯平面，其中露出铁芯上下表面的直线段部分，截面积尺寸一致，激励线两端连接焊盘作为引线接口，用于连接外部电路。
3.根据权利要求1所述的缝纫式线芯结构微型磁通门传感器，其特征在于：微型磁通门传感器位于Si衬底上，衬底表面有热氧化处理生成的SiO2层。
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