[发明专利]低温固化型感光树脂组合物在审
申请号: | 201811146009.8 | 申请日: | 2018-09-29 |
公开(公告)号: | CN109581814A | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 车爀鎭;洪性宰 | 申请(专利权)人: | 互耐普勒斯有限公司 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004 |
代理公司: | 北京同立钧成知识产权代理有限公司 11205 | 代理人: | 延美花;臧建明 |
地址: | 韩国忠清*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 感光树脂组合物 低温固化型 硅烷基 连结基 丙烯酸系共聚物树脂 多官能性丙烯酸酯 烷基 甲基丙烯酸酯 固化促进剂 硅烷偶联剂 丙烯酸酯 光引发剂 卤素原子 热固化剂 芳香基 环氧基 极性基 碳氢基 溶剂 碳数 酰基 | ||
低温固化型感光树脂组合物包括:由以下化学式1所表示的具有硅烷基和环氧基的丙烯酸系共聚物树脂、多官能性丙烯酸酯类单体、O‑氧酰基肟系光引发剂、硅烷偶联剂、热固化剂和固化促进剂以及多余份的溶剂,化学式1其中,R1是氢或烷基,R2包括具有氢、氮、硫或硅的连结基且取代或未取代的碳数为1至10的碳氢基、极性基、具有单一结合或2阶的连结基的芳香基、硅烷基或卤素原子,至少一个包括丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯。
技术领域
本发明涉及低温固化型感光树脂组合物。更具体地,本发明涉及在低温固化条件也具有优异的反应性、能够形成可靠性(粘接力)优异的图案且耐化学性优异的低温固化型感光树脂组合物。
背景技术
在显示器领域,低温固化型感光树脂组合物用于形成绝缘膜、保护膜等光固化图案。具体地,通过光刻工艺对低温固化型感光树脂组合物选择性地曝光及显像形成所需光固化图案,在此过程中,为了提高工艺上的收率而需要具有高感度的感光树脂组合物。低温固化型感光树脂组合物的图案的形成利用光刻,即通过光反应发生的交联反应及根据热的自由基固化。尤其,曝光后利用对碱性水溶液的溶解特性进行显像。利用低温固化型感光树脂组合物形成图案根据关于感光部分的显像溶解度分为正型及负型。正型(Positive)光刻胶组成含作为感光剂的邻叠氮萘醌,由于所述邻叠氮萘醌的偶氮基而呈现红色。因此,具有降低光透过率的问题,能够引起被有机溶剂损伤的问题。鉴于此,尝试利用负型(Negative)光刻胶组成形成有机绝缘膜,但是利用一般的负型光刻胶组成形成的有机绝缘膜具有分辨率相对低的问题。并且,现有负型光刻胶组成需要230℃以上的高的固化温度。在230℃以上的固化温度进行的情况下,具有基板的热膨胀系数高或玻璃转化温度(Tg)低的时不能使用的问题。并且,具有在高的固化温度下柔性(Flexible)基板受到损伤而不能使用的问题。最近,柔性触摸屏非常受关注,作为柔性基板的PET薄膜和环烯烃共聚物(Cyclic olefincopolymer;COP)薄膜的使用量爆发性地增长。但柔性基板PET和COP薄膜只能进行低温工艺,因此需要低温固化型感光绝缘膜。因此,逐渐涌现出感光树脂组合物的固化条件从高温固化变更为低温固化的需求。低温固化型感光组合物在低温固化条件下具有反应性、已形成图案的可靠性(粘接力)及耐化学性问题。
发明内容
技术问题
本发明的目的在于提供在低温固化条件也具有优异的反应性、能够形成具有优异的可靠性(粘接力)的图案、耐化学性优异的低温固化型感光树脂组合物。
技术方案
用于达成上述本发明的目的,本发明实施例的低温固化型感光树脂组合物的特征在于包括由以下化学式1所表示的具有硅烷基和环氧基的丙烯酸系共聚物树脂、多官能性丙烯酸酯系单体、O-氧酰基肟系光引发剂、硅烷偶联剂、热固化剂、固化促进剂及溶剂。
化学式1
其中,R1是氢或烷基,
R2包括具有氢、氮、硫或硅的连结基且包括取代或未取代的碳数为1至10的碳氢基、极性基、具有单一结合或2阶的连结基的芳香基、硅烷基或卤素原子,至少一个可包括丙烯酸酯或甲基丙烯酸酯,
R3可以是乙基三甲氧基硅烷、β-(3,4环氧环已基)、γ-环氧丙氧丙基三乙氧基硅烷、γ-环氧丙氧丙基三甲氧基硅烷、γ-环氧丙氧丙基甲基二乙氧基硅烷、3-巯丙基三甲氧基硅烷、乙烯基三甲氧基硅烷、乙烯基三乙氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧基丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧丙基三甲氧基硅烷、γ-甲基丙烯酰氧丙基三乙氧基硅烷、γ-氨丙基三甲氧基硅烷、γ-氨丙基三乙氧基硅烷、3-异氰酸丙基三乙氧基硅烷、γ-乙酰乙酸丙基三甲氧基硅烷、γ-乙酰乙酸丙基三乙氧基硅烷、β-氰乙酰基三甲氧基硅烷、β-氰乙酰基三乙氧基硅烷或乙酸基乙酰三甲氧基硅烷。
本发明的一个实施例中,以整体100重量份为基准可具有所述具有硅烷基和环氧基的丙烯酸系共聚物树脂30至80重量份。
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