[发明专利]一种靶材的制作方法

权利要求书

1.一种靶材的制作方法，其特征在于，所述制作方法包括：

采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层；

采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层；所述第二膜层与所述第一膜层材质相同；所述第一膜层和所述第二膜层均为铟膜层；所述第一膜层和所述第二膜层的厚度均为0.1mm；

用自来水将所述靶坯和所述背板冲净、吹干；

将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上；叠合时所述靶坯的接触面的第一膜层与所述背板的接触面的第二膜层接触；

打开所述加热平台，调节温度范围，所述温度范围为高于所述第一膜层和第二膜层的熔点，且小于所述靶坯和所述背板的熔点的温度范围；

保温保压1小时后关闭所述加热平台；

冷却后，完成所述靶坯与所述背板的结合，完成靶材的制作。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述采用电刷镀方式在靶坯的接触面制作第一膜层，具体包括：

将所述靶坯固定于铝合金卡槽上，所述卡槽连接电源的负极，电镀笔连接电源的正极；

打开所述电源，并调节所述电源的电压在10V～20V之间；

将所述电镀笔蘸取碱性铟溶液与靶坯接触，并施加压力均匀涂覆在所述靶坯的接触面；

涂覆完成后，生成第一膜层；

关闭所述电源。

3.根据权利要求2所述的制作方法，其特征在于，所述靶坯的接触面上涂覆碱性铟溶液的时间为0.5～1分钟。

4.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述采用电刷镀方式在背板的接触面制作第二膜层，具体包括：

将所述背板固定于铝合金卡槽上，所述卡槽连接电源的负极，电镀笔连接电源的正极；

打开所述电源，并调节所述电源的电压在10V～20V之间；

将所述电镀笔蘸取碱性铟溶液与背板接触，并施加压力均匀涂覆在所述背板的接触面；

涂覆完成后，生成第二膜层；

关闭所述电源。

5.根据权利要求3所述的制作方法，其特征在于，所述背板的接触面上涂覆碱性铟溶液的时间为0.5～1分钟。

6.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述加热平台的温度范围为160℃～180℃。

7.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述将所述靶坯和所述背板叠合固定在加热平台上，之后用G型夹或铁块对所述靶坯和所述背板的叠合施加压力。