[发明专利]一种基板检测设备

说明书

本发明涉及宏观检测技术领域，公开了一种基板检测设备，包括外罩、检测机台及背灯箱，其中，所述外罩包括框架和安装在部分所述框架上的第一封板；所述检测机台置于所述外罩内部，并能够相对所述背灯箱移动；所述背灯箱嵌设在所述框架上，且所述背灯箱的光源面朝向所述检测机台。本发明的基板检测设备通过将背灯箱直接固定于外罩的框架上，无需做额外的支撑，用料省且利于安装制作，对背灯箱进行维修时，无需移动背灯箱，直接在外罩上进行维修即可，维修空间大，降低了维护保养难度。

技术领域

本发明涉及宏观检测技术领域，尤其涉及一种基板检测设备。

背景技术

在光罩、显示面板、光学玻璃等基板的制造过程中，通常需要将其放置于宏观检查设备上进行宏观检测，以检查面板或基板上是否存在缺陷。

宏观检查设备通常置于挡光的外罩内，并在外罩内安装背灯箱，以对宏观检查设备提供光照，便于自动光学装置进行拍照。目前，背灯箱是可固定或可滑动地设置在外罩内部的，需要对背灯箱做额外的支撑机构，用料更多，成本高；安装时，需在设备内部有限的空间作业，难度大；维修时，要先从外罩的维修门进到机台内部，再打开背灯箱的维修门进行维修，操作比较繁琐；此外，还要给背灯箱安装专门用于维修的滑轨，将背灯箱整体推离外罩以便留出维修空间，即便如此维修空间也不宽敞。可见，现有背灯箱的安装方式总体用料多、加工量大、安装量大、维护保养工作量大、维护保养难度大。

有鉴于上述的缺陷，本设计人，积极加以研究创新，以期创设一种基板检测设备，使其更具有产业上的利用价值。

发明内容

本发明的目的在于提出一种基板检测设备，无需对背灯箱做额外的支撑，用料省且利于安装制作，操作简单方便且节省空间。

为达此目的，本发明采用以下技术方案：

一种基板检测设备，包括外罩、检测机台及背灯箱，其中，

所述外罩包括框架；

所述检测机台置于所述外罩内部，并能够相对所述背灯箱移动；

所述背灯箱嵌设在所述框架上，且所述背灯箱的光源面朝向所述检测机台。

进一步地，所述背灯箱包括灯箱框、多个第二封板及光源组件，其中，

所述灯箱框连接于所述框架上；

多个所述第二封板设置于所述灯箱框的四周包围所述光源组件并延伸至所述框架内部。

进一步地，所述光源组件包含灯条组及光学板，所述灯条组包括设置在各所述第二封板内侧的灯条固定板、安装在所述灯条固定板朝向所述检测机台的侧面上的多个灯条。

进一步地，所述灯箱框上转动连接有对开的检修门。

进一步地，所述灯箱框底部位于所述检修门内侧设有与所述检修门磁性相吸的磁吸件。

进一步地，所述灯箱框上设有能够遮挡两个所述检修门之间的门缝的挡光板。

进一步地，所述检测机台包括支撑座、旋转机构及夹紧定位机构，其中，

所述支撑座安装在所述框架的底部；

所述旋转机构设置于所述支撑座上；

所述夹紧定位机构通过所述旋转机构固定于所述支撑座上，并可在所述旋转机构的带动下绕水平轴向旋转。

进一步地，所述检测机台还包括安装在所述框架顶部的自动光学检测单元，且所述自动光学检测单元可在垂直方向和水平方向实现线性移动。

进一步地，所述基板检测设备还包括设置于所述外罩内部对所述检测机台进行电性控制的控制盒。