[发明专利]一种相位型衍射光栅有效
| 申请号： | 201811147241.3 | 申请日： | 2018-09-29 |
| 公开（公告）号： | CN109212641B | 公开（公告）日： | 2021-07-13 |
| 发明（设计）人： | 刘子维;浦探超;史丽娜;谢常青;牛洁斌;王冠亚;李海亮;刘明 | 申请（专利权）人： | 中国科学院微电子研究所 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 北京华沛德权律师事务所 11302 | 代理人： | 房德权 |
| 地址： | 100029 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 相位 衍射 光栅 | ||
【权利要求书】：
1.一种相位型衍射光栅，其特征在于，包括：
薄膜衬底；
所述薄膜衬底上均匀开设的形状和尺寸相同的多个栅孔，其中，所述多个栅孔在所述薄膜衬底上呈规则阵列排布；所述多个栅孔呈规则阵列排布时的横向周期为Px，纵向周期为Py；所述栅孔的尺寸与所述横向周期Px和纵向周期Py呈预设比例；所述薄膜衬底的厚度根据入射光的波长的值确定；
所述栅孔的形状为对称六边形，对称六边形栅孔连接两相对顶角的第二对称轴的方向与所述横向周期的方向相同，所述两相对顶角的顶点的连线的中点为第二参考点，所述第二参考点分别到所述两相对顶角的顶点的距离为a，所述对称六边形栅孔的相对平行的两边的边长均为2a1，其中，a＝Px/3，a1＝Px/6；所述第二参考点到所述对称六边形栅孔的相对平行的两边的距离分别为b，b＝Py/2。
2.如权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，所述薄膜衬底为透明材料，所述透明材料具体为氧化硅、二氧化钛、氮化硅中的任意一种。
3.如权利要求1所述的衍射光栅，其特征在于，所述薄膜衬底的厚度d与入射光波长λ的关系如下：
其中，δ2＝0，kdδ1＝π，c为光在真空中的传播速度，k为波矢。
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