[发明专利]一种微波等离子体喷嘴用青铜粉的检测方法

说明书

本发明公开了一种微波等离子体喷嘴用青铜粉的检测方法，包括：外观检测、过筛检测、微波等离子体喷嘴用青铜粉的水面覆盖力检测方法、化学检测。本发明公开了一种微波等离子体喷嘴用青铜粉的水面覆盖力检测方法，包括：向测试容器内壁上涂覆石蜡，接着向测试容器中注水，然后将待测青铜粉均匀散撒于测试容器水面上，将水面上堆积的待测青铜粉分散至水面上，测量待测青铜粉水面覆盖层的表面积，计算待测青铜粉水面覆盖力A；若A≥850cm²/g，则待测青铜粉水面覆盖力合格；若A＜850cm²/g，则待测青铜粉水面覆盖力不合格。

技术领域

本发明涉及微波等离子体技术领域，尤其涉及一种微波等离子体喷嘴用青铜粉的检测方法。

背景技术

目前低温等离子体(温度为2000～50000K)已得到广泛应用，工业上已成为一种重要的工艺手段，例如用等离子弧进行切割、焊接、喷涂；制造各种新颖的光源和显示器；热电直接转换的磁流体发电等。在化工部门，等离子体化学已成为一个十分活跃的新领域。在微电子工业，等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛。

用微波激发而产生的等离子体称为微波等离子体。微波等离子体作为一项新兴技术，具有较高的电离和分解程度、能在高气压下维持等离子体、没有内部电极、等离子发生器可保持长寿命、可采用磁约束的方法将等离子约束在约定的空间内等优点。

微波等离子的喷嘴在使用过程中也会发生因高温而氧化损耗等失效。因此喷嘴的材料需要进行表面处理。在长期实践过程中，我们使用了一种钨表面烧结涂覆一层青铜粉的材料来制造喷嘴，这种材料既能承受高温，又可获得良好的微波传输效率。能在钨表面烧结涂覆的青铜粉具有特殊的工艺要求，不符合要求的青铜粉难以稳定烧结附着在钨表面的。

发明内容

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出了一种微波等离子体喷嘴用青铜粉的检测方法，经本发明检测通过的青铜粉可十分牢固的烧结附着在钨材表面，在1000W的微波等离子体喷嘴上，使用寿命长达6000小时。

本发明提出的一种微波等离子体喷嘴用青铜粉的水面覆盖力检测方法，包括如下步骤：向测试容器内壁上涂覆石蜡，接着向测试容器中注水，然后将待测青铜粉均匀散撒于测试容器水面上，将水面上堆积的待测青铜粉分散至水面上，测量待测青铜粉水面覆盖层的表面积，根据下述公式计算待测青铜粉水面覆盖力A：

A＝S/d

其中，S为待测青铜粉水面覆盖层的表面积，cm²；d为待测青铜粉的质量，g；

若A≥850cm²/g，则待测青铜粉水面覆盖力合格；若A＜850cm²/g，则待测青铜粉水面覆盖力不合格。

优选地，测试容器为含有两片玻璃板的矩形容器。

优选地，矩形容器的尺寸为50cm×20cm×10cm，玻璃板的尺寸为50cm×2～3cm。

优选地，将待测青铜粉均匀散撒于测试容器水面上的具体操作如下：将两片玻璃板在矩形容器水面上形成限定区域，将待测青铜粉散撒于限定区域中，然后逐渐移动玻璃板使待测青铜粉始终均匀铺满限定区域。

本发明提出的一种微波等离子体喷嘴用青铜粉的检测方法，包括：外观检测、过筛检测、上述微波等离子体喷嘴用青铜粉的水面覆盖力检测方法、化学检测。

优选地，外观检测过程中，待测青铜粉为一种细研的无杂质、无块团的金黄色粉末。

优选地，过筛检测过程中，待测青铜粉应能全部通过650目筛网，且用1500目筛网筛后余量不得超过20％。

优选地，化学检测过程中，待测青铜粉化学成分如下：

铜：88～90％，

铝：1.2％，