[发明专利]柔性基板及其制作方法、阵列基板、显示面板和显示装置

权利要求书

1.一种柔性基板的制作方法，其特征在于，所述方法包括：

在衬底上形成膜层，且所述膜层经过至少两次图案化处理，形成图案层，且所述图案层包括位于所述衬底上的第一图案层以及至少部分图案位于所述第一图案层上的第二图案层；

在形成了所述第一图案层和所述第二图案层的所述衬底上，沉积阻挡层，所述阻挡层覆盖所述第一图案层、所述第二图案层和所述衬底；

其中，所述膜层和所述阻挡层中其中一个为无机膜层，另一个为有机膜层；

当所述第一图案层中的图案在纵向上的截面形状为T型时，所述在衬底上形成膜层，且所述膜层经过至少两次图案化处理形成图案层，包括：

在所述衬底上形成第一膜层，并对所述第一膜层进行第一次图案化处理，形成多个间隔设置的柱状结构；

在形成了所述柱状结构的所述衬底上填充可移除的第一有机胶层，其中，所述第一有机胶层与所述柱状结构平齐；

在所述第一有机胶层和所述柱状结构上沉积第二膜层，并对所述第二膜层进行图案化处理，形成多个间隔设置的块状结构，且所述块状结构与所述柱状结构形成纵向截面呈T型的第一图案层；

在所述块状结构之间填充可移除的第二有机胶层，且所述第二有机胶层与所述块状结构平齐；

在所述第二有机胶层和所述块状结构上沉积第三膜层，并对所述第三膜层进行图案化处理，形成多个图案相互间隔的第二图案层，且所述第二图案层中的图案均位于所述第一图案层上；

移除所述第一有机胶层和所述第二有机胶层，形成所述图案层。

2.根据权利要求1所述的制作方法，其特征在于，所述在衬底上形成膜层之前，还包括：

在所述衬底上形成与所述衬底可剥离的薄膜层；

在所述衬底上形成膜层，包括：

在所述薄膜层上形成所述膜层。