[发明专利]一种掩膜板及其制作方法

说明书

本发明实施例提供一种掩膜板及其制作方法，涉及掩膜蒸镀技术领域，用于防止拉伸掩膜片时对掩膜区域造成损坏的问题。该掩膜板的制作方法包括：将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域中；将掩膜片与塑形模具进行粘合；通过张网工艺将掩膜片固定在框架上；将塑形模具与掩膜片分离，以形成掩膜板。

技术领域

本发明涉及掩膜蒸镀技术领域，尤其涉及一种掩膜板及其制作方法。

背景技术

OLED(Organic Light-Emitting Display，有机电致发光显示)器件，例如有源矩阵有机发光二极管(英文全称：Active-matrix organic light-emitting diode，英文简称：AMOLED)，由于可实现较高的色域、超薄以及柔性化的显示等优势，逐渐受到了广泛的关注。尤其是曲面和柔性OLED，由于独特的功能和优秀的用户体验受到了众多青睐。OLED器件的发光层的主要制作工艺是蒸镀，即将有机材料在真空条件下加热至一定温度，使有机材料飞升至基板表面，形成薄膜。要制作成固定形状的薄膜，掩膜板就是必不可少的部件。现有的蒸镀技术中，需要采用精细金属掩膜板(英文全称：Fine Metal Mask，英文简称FMM)，以在有机发光二极管显示基板上形成不同颜色的有机发光层。

制作FMM时，通常需要在进行网格加工之后，即在掩膜片上形成掩膜区域之后，通过拉伸机对掩膜片进行拉伸以保证制成的掩膜板的直线度和平坦度，并将其固定在框架上。但是拉伸将造成FMM的掩膜区域变形，甚至损坏，进而影响蒸镀成膜的效果，因此如何在拉伸的过程中对FMM的掩膜区域进行保护尤为重要。

发明内容

本发明的实施例提供一种掩膜板及其制作方法，用于防止拉伸掩膜片时对掩膜区域造成损坏的问题。

为达到上述目的，本发明的实施例采用如下技术方案：

本发明实施例的第一方面，提供一种掩膜板的制作方法，包括：将塑形模具嵌入掩膜片的掩膜区域中；将所述掩膜片与所述塑形模具进行粘合；通过张网工艺将所述掩膜片固定在框架上；将所述塑形模具与所述掩膜片分离，以形成所述掩膜板。

可选的，所述塑形模具包括阻隔柱；所述将塑形模具嵌入所述掩膜片的掩膜区域中包括：将所述阻隔柱嵌入所述掩膜片的掩膜区域中。

可选的，所述塑形模具还包括支撑部，所述阻隔柱凸出于所述支撑部；所述将所述掩膜片与所述塑形模具进行粘合包括：在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层，以将所述掩膜片与所述阻隔柱进行粘合。

可选的，在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层包括：将一侧表面覆有胶层的防粘膜贴覆在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧；或者，在所述掩膜片背离所述支撑部的一侧形成胶层，以将所述掩膜片与所述阻隔柱进行粘合之后，所述掩膜板的制作方法还包括：在所述胶层背离所述掩膜片的一侧形成防粘膜。

可选的，所述胶层的材质为热分离胶，所述热分离胶会在预设温度下失效。

进一步的，所述预设温度为60℃～100℃。

可选的，所述将所述塑形模具与所述掩膜片分离包括：将通过张网工艺固定在所述框架上的所述掩膜片加热所述至预设温度，使得所述热分离胶失效，以将所述塑形模具与所述掩膜片分离。

可选的，所述阻隔柱的厚度大于或者等于所述掩膜片的厚度。

可选的，所述阻隔柱的表面由树脂类材料包覆。

本发明实施例的另一方面，提供一种掩膜板，所述掩膜板利用如第一方面所述的掩膜板的制作方法制成。