[发明专利]OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置及其工艺在审
| 申请号： | 201811154259.6 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109107997A | 公开（公告）日： | 2019-01-01 |
| 发明（设计）人： | 陈文勇 | 申请（专利权）人： | 上海钥熠电子科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B7/00 | 分类号： | B08B7/00;B08B13/00 |
| 代理公司： | 上海伯瑞杰知识产权代理有限公司 31227 | 代理人： | 胡永宏 |
| 地址： | 201203 上海*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 挡板 干冰清洗装置 蒸镀 清洗 材料收集 干冰清洗 清洗腔体 发生器 清洗腔 干冰 挡板固定装置 风机过滤机组 负压引流装置 回收 纯水清洗 封闭结构 环境友好 清洗工艺 有机溶剂 半透明 体内部 喷砂 体内 透明 替代 | ||
1.OLED蒸镀用挡板的干冰清洗装置，其特征在于，包括干冰发生器、材料收集器和清洗腔体，待清洗的OLED蒸镀用挡板置于所述清洗腔体内；其中，
所述清洗腔体为透明或半透明的封闭结构，顶部设有风机过滤机组，底部与所述材料收集器连接，内部设有所述待清洗OLED蒸镀用挡板的固定装置；
所述干冰发生器与所述清洗腔体内部连接；
所述材料收集器设有负压引流装置。
2.根据权利要求1所述的干冰清洗装置，其特征在于，还包括风刀吹干装置、红外加热装置和喷砂装置。
3.根据权利要求1所述的干冰清洗装置，其特征在于，所述清洗腔体为倒梯形结构。
4.根据权利要求1所述的干冰清洗装置，其特征在于，
所述清洗腔体外部与高压水喷淋装置连接；
所述清洗腔体的侧壁设有若干个操作口。
5.OLED蒸镀用挡板的清洗工艺，其特征在于，如权利要求1-4任一项所述干冰清洗装置将待清洗的OLED蒸镀用挡板经包括以下步骤：
(ⅰ)干冰清洗，和
(ⅱ)纯水清洗，和
(ⅲ)干燥，和
(ⅳ)喷砂的清洗过程。
6.根据权利要求5所述OLED蒸镀用挡板的清洗工艺，其特征在于，所述步骤(ⅰ)干冰清洗的过程为：
经所述操作口将待清洗的OLED蒸镀用挡板固定于清洗腔体内，并封闭清洗腔体；同时开启所述风机过滤机组进行导流和所述材料收集器的负压引流装置形成负压；再开启所述干冰发生器产生高压干冰，直接喷射到上述OLED蒸镀用挡板上反复喷洗，在冷热膨胀收缩作用下其表面富集的OLED材料迅速分离，在上述到导流和负压双重作用下，上述分离后的OLED材料顺着空气流向流入底部的材料收集器内。
7.根据权利要求5所述OLED蒸镀用挡板的清洗工艺，其特征在于，所述干冰清洗后的OLED蒸镀用挡板在所述高压水喷淋装置作用下进行所述步骤(ⅱ)纯水清洗，其中，高压水压力为1-10MPa。
8.根据权利要求7所述OLED蒸镀用挡板的清洗工艺，其特征在于，所述干冰清洗后的OLED蒸镀用挡板在所述高压水喷淋装置作用下进行所述步骤(ⅱ)纯水清洗，其中，高压水压力为5MPa。
9.根据权利要求5所述OLED蒸镀用挡板的清洗工艺，其特征在于，所述纯水清洗后的OLED蒸镀用挡板先经风刀吹干，后红外加热至75-85℃。
10.根据权利要求5所述OLED蒸镀用挡板的清洗工艺，其特征在于，还包括所述步骤(ⅳ)喷砂后水洗和干燥处理。
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