[发明专利]一种晶硅棒切割机在审
申请号: | 201811157874.2 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN109176930A | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 朱文志;李海威;黄田玉;林孝狮;梁兴华;陈绍森;林光展 | 申请(专利权)人: | 福州天瑞线锯科技有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04;B28D7/00;B28D7/04 |
代理公司: | 福州市景弘专利代理事务所(普通合伙) 35219 | 代理人: | 林祥翔;张忠波 |
地址: | 350100 福建*** | 国省代码: | 福建;35 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 送料台 夹持翻转机构 线锯切割装置 回旋机构 升降机构 输送机构 晶硅棒 硅棒切割机 供料装置 驱动机构 送料装置 运动轨迹 种晶 金刚石线锯 驱动 相对设置 自动送料 侧边处 进料口 翻转 翻料 夹持 送料 切割 | ||
本发明公开了一种晶硅棒切割机,包括供料装置、送料装置及线锯切割装置;所述线锯切割装置用于切割晶硅棒;所述送料装置包括送料台及送料台驱动机构,所述送料台与线锯切割装置的进料口相对设置,所述送料台驱动机构用于驱动送料台靠近或远离金刚石线锯;所述供料装置包括升降机构、回旋机构、夹持翻转机构及输送机构;所述输送机构设置于送料台运动轨迹的侧边处,用于输送晶硅棒;所述升降机构设置于输送机构和送料台运动轨迹之间,用于调节夹持翻转机构的所处高度;所述夹持翻转机构设置于送料台上方,且通过回旋机构与升降机构连接,用于夹持及翻转晶硅棒;所述回旋机构用于驱动夹持翻转机构旋转。本发明具有自动送料和翻料的优点。
技术领域
本发明涉及硬脆材料切割技术领域,尤其涉及一种一种晶硅棒切割机。
背景技术
晶体硅为钢灰色,无定形硅为黑色,属于原子晶体,硬而有光泽,有半导体性质。硅的化学性质比较活泼,在高温下能与氧气等多种元素化合,不溶于水、硝酸和盐酸,溶于氢氟酸和碱液,用于造制合金如硅铁、硅钢等,单晶硅是一种重要的半导体材料,用于制造大功率晶体管、整流器、太阳能电池等。高纯度的多晶硅在单晶炉内拉制成铸锭,再对铸锭开方、截断后形成各种形状规格的棒料,即晶硅棒。
公开号为CN107322823A的中国专利,公开了一种双驱动单晶硅棒双边切割机,该切割机用于晶硅块料棱边、棱条、棱线的切割加工,具有加工效率高、结构简单、能够单独运行一组或同时运行两组金刚石线锯进行切割的特点,但该切割机只能切割当前主流的截面尺寸为156mm×156mm规格的晶硅块料的棱边、棱条、棱线,其它尺寸规格的则无法切割,所以通用性较低;另外,该切割机在完成一次切割后的换刀翻转料、切割前的上料、切割后的下料操作,都需要通过人工手工进行,自动程度不高,导致换料时间长,设备有效切割效率低。
发明内容
为此,需要提供一种晶硅棒切割机,以解决现有技术中加工晶硅棒时的翻转料及上料需要通过人工进行,效率低下的问题。
为实现上述目的,发明人提供了一种晶硅棒切割机,包括供料装置、送料装置及线锯切割装置;
所述线锯切割装置用于切割晶硅棒;
所述送料装置包括送料台及送料台驱动机构,所述送料台与线锯切割装置的进料口相对设置,所述送料台驱动机构用于驱动送料台靠近或远离金刚石线锯;
所述供料装置包括升降机构、回旋机构、夹持翻转机构及输送机构;所述输送机构设置于送料台运动轨迹的侧边处,用于输送晶硅棒;所述升降机构设置于输送机构和送料台运动轨迹之间,用于调节夹持翻转机构的所处高度;所述夹持翻转机构设置于送料台上方,且通过回旋机构与升降机构连接,用于夹持及翻转晶硅棒;所述回旋机构用于驱动夹持翻转机构旋转。
进一步地,所述供料装置为两个,两个供料装置分别设置于送料台运动轨迹的两侧边处。
进一步地,所述送料台与线锯切割装置之间设置有直线导轨,所述送料台的底部设置有与直线导轨相适配的滑块,所述滑块设置于可活动地设置于直线导轨处;所述送料驱动机构与送料台连接,用于驱动送料台及滑块相对直线导轨做直线往返运动。
进一步地,所述送料台的顶部设置有置料架,所述置料架为开口朝上的U形架,且所述U形架的开口呈V形。
进一步地,所述送料台内部为空腔;所述空腔的顶面与U形架连通,且空腔内设置有顶出板及顶出板驱动机构,所述顶出板驱动机构与顶出板连接,用于驱动顶出板穿至U形架内;所述送料台的顶部设置有摆臂,所述摆臂通过转角气缸与送料台连接,所述转角气缸用于驱动摆臂旋转及上下移动;所述送料台的两侧分别设置有定位机构,所述定位机构包括下架、上架、上架驱动机构及定位气缸;所述上架位于下架上方,且上架通过上架驱动机构与下架连接;所述上架驱动机构用于驱动上架上下运动;两个定位机构的定位气缸分别水平设置于上架处,且两个定位气缸相对设置。
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