[发明专利]一种电磁平衡式拉压力传感器在审
| 申请号： | 201811157952.9 | 申请日： | 2018-09-30 |
| 公开（公告）号： | CN109459168A | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 鲍丙好;刘文玉 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01L5/00 | 分类号： | G01L5/00;G01P13/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 挠性梁 差动电容传感器 力发生器 动圈式 加载杆 永磁 拉压力传感器 信号反馈系统 电磁平衡式 电磁结构 测量精度高 抗干扰能力 闭环测量 测量原理 线圈骨架 一端连接 体积小 测力 加载 壳体 受力 体内 | ||
1.一种电磁平衡式拉压力传感器，其特征在于，包括电磁结构、加载杆(11)和信号反馈系统；
所述电磁结构包括壳体(1)、挠性梁(2)、永磁动圈式力发生器和差动电容传感器(10)；所述挠性梁(2)的一端固定在壳体(1)内，永磁动圈式力发生器的线圈骨架(5)与挠性梁(2)连接；所述差动电容传感器(10)设置在挠性梁(2)的另一端；
所述加载杆(11)的一端与挠性梁(2)的另一端连接，加载杆(11)的另一端用于加载待测力；
所述信号反馈系统的一端与差动电容传感器(10)连接，另一端与永磁动圈式力发生器连接。
2.根据权利要求1所述的电磁平衡式拉压力传感器，其特征在于，所述差动电容传感器(10)包括上定极板(6)、上动极板(7)、下动极板(8)和下定极板(9)；
所述上定极板(6)和下定极板(9)分别安装于壳体(1)上；所述上动极板(7)和下动极板(8)分别安装在挠性梁(2)另一端；
所述上定极板(6)和上动极板(7)的位置相对应；所述下动极板(8)和下定极板(9)的位置相对应；
所述上定极板(6)、下定极板(9)、上动极板(7)和下动极板(8)的极面均镀有金属膜。
3.根据权利要求2所述的电磁平衡式拉压力传感器，其特征在于，所述信号反馈系统包括依次连接的电桥电路、差动放大电路、相敏检波电路、低通滤波电路和功率放大电路。
4.根据权利要求1所述的电磁平衡式拉压力传感器，其特征在于，所述永磁动圈式力发生器包括线圈(3)和磁回路(4)；
所述线圈(3)缠绕在线圈骨架(5)上；
所述磁回路(4)与壳体(1)连接，所述磁回路(4)包括两个对称的E形磁路，线圈(3)位于两个对称的E形磁路之间。
5.根据权利要求1所述的电磁平衡式拉压力传感器，其特征在于，所述壳体(1)设有支架通孔(12)；所述加载杆(11)的一端穿过支架通孔(12)与挠性梁(2)的另一端连接。
6.根据权利要求1所述的电磁平衡式拉压力传感器，其特征在于，所述壳体(1)还设有线圈导线通孔(13)和检测电路导线通孔(14)。
7.根据权利要求1所述的电磁平衡式拉压力传感器，其特征在于，所述挠性梁(2)为石英材料。
8.根据权利要求1所述的电磁平衡式拉压力传感器，其特征在于，所述线圈骨架(5)由硅钢片层叠而成。
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