[发明专利]一种钨铜合金颗粒度的检测方法

说明书

本发明提出一种钨铜合金颗粒度的检测方法，包括：S1、在待测钨铜合金磨片的端面上选定不少于四个观察点；S2、用金相显微镜，在不低于600倍的放大倍数下对待测钨铜合金磨片上选定的观察点分别进行观察，并统计颗粒数量，进而完成对钨铜合金颗粒度的检测。本发明提出的一种钨铜合金颗粒度的检测方法，采用该方法可以快速准确测定钨铜合金的颗粒度，可供相关设计和制造工艺人员使用。

技术领域

本发明涉及材料分析技术领域，尤其涉及一种钨铜合金颗粒度的检测方法。

背景技术

目前低温等离子体已得到广泛应用，工业上已成为一种重要的工艺手段，例如用等离子弧进行切割、焊接、喷涂；制造各种新颖的光源和显示器；热电直接转换的磁流体发电等。在化工部门，等离子体化学已成为一个十分活跃的新领域。在微电子工业，等离子体刻蚀和气相沉积应用得十分广泛。

用微波激发而产生的等离子体称为微波等离子体。微波等离子体具有较高的电离和分解程度、能在高气压下维持等离子体、没有内部电极、等离子发生器可以保持长寿命、等离子可以采用磁约束的方法，约束在约定的空间内等优点，是一项新兴技术。

大功率微波等离子体喷嘴经常使用钨铜合金制造，钨铜合金选用精细钨、铜粉末，经浸透烧结粉末冶金工艺精制而成，可承受近3000度高温和高应力，具有高熔点、高硬度、抗烧损和良好抗粘附性，电蚀产品表面光洁度高，精度极高，损耗低。

因为钨铜合金是采用粉末冶金的方法制造出来的，其颗粒度是一项重要指标。钨铜合金颗粒度的检测技术是高温等离子喷嘴制造的一项关键技术。

发明内容

基于背景技术存在的技术问题，本发明提出一种钨铜合金颗粒度的检测方法，采用该方法可以快速准确测定钨铜合金的颗粒度，可供相关设计和制造工艺人员使用。

本发明提出的一种钨铜合金颗粒度的检测方法，包括如下步骤：

S1、在待测钨铜合金磨片的端面上选定不少于四个观察点；

S2、用金相显微镜，在不低于600倍的放大倍数下对待测钨铜合金磨片上选定的观察点分别进行观察，并统计颗粒数量，进而完成对钨铜合金颗粒度的检测。

优选地，S1中，在待测钨铜合金磨片的端面上划出两条相互垂直的交叉线，交叉线的交点位于所述钨铜合金磨片端面的中部，以该交叉线作为第一正方形的对角线划出边长为2.5-3.5mm的第一正方形，选定该第一正方形各边上的一点作为观察点；优选地，当待测钨铜合金磨片的整个端面不呈正方形时，则同样以该交叉线作为第二正方形的对角线再一个划出边长大于第一正方形的第二正方形，同时选定第一正方形各边上的一点和第二正方形上的各个顶点作为观察点。

优选地，S2中，用金相显微镜，先在600倍的放大倍数下对待测钨铜合金磨片上选定的观察点分别进行观察，挑选具有代表性的一个观察点进行观察；优选地，挑选视角好，清晰，且颗粒分布均匀的一个观察点作为具有代表性的一个观察点进行观察。

优选地，S2中，挑选具有代表性的一个观察点进行观察时，先使待测钨铜合金磨片上该观察点的放大影像落在显微境照相机的毛玻璃上，毛玻璃上出现100个5mm×5mm的网格，从每个网格两相互垂直的边上再分别添加等距为lmm的划线，使毛玻璃上出现2500个1mm×1mm的细网格，观察并记录上述放大影像中颗粒对应在上述2500个细网格中的具体位置，进而统计出待测钨铜合金磨片放大影像在面积为2500mm²的网格内的颗粒数量，并换算成待测钨铜合金磨片上的实际颗粒数，完成对钨铜合金颗粒度的检测。