[发明专利]一种用于显示面板的制造设备和清洗方法在审
申请号: | 201811158805.3 | 申请日: | 2018-09-30 |
公开(公告)号: | CN109212793A | 公开(公告)日: | 2019-01-15 |
发明(设计)人: | 刘重阳 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙) 44240 | 代理人: | 邢涛 |
地址: | 518000 广东省深圳市宝安区石岩街道水田村民*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 工作管道 机台 显示面板 玻璃基板 清洗 供气管路 制造设备 自动阀 连通 传送玻璃基板 供气装置 供液管路 供液装置 检测装置 输送物料 供液管 除掉 光阻 制程 生产成本 出口 承载 传送 检测 节约 | ||
本发明公开了一种用于显示面板的制造设备和清洗方法。包括:机台,用于承载和传送玻璃基板;工作管道,设在所述机台的上方,用于输送物料作用于所述玻璃基板;供气装置,与所述工作管道通过供气管路连通;供液装置,与所述工作管道通过供液管路连通;其中,所述机台上设有用于检测所述机台上传送所述玻璃基板状态的检测装置,所述供气管路上设有第一自动阀,所述供液管路上设有第二自动阀,对机台和工作管道进行清洗,减缓工作管道出口上的结晶速度或除掉工作管道出口的结晶,减少玻璃基板上的光阻脱落,最终提高显示面板制程的稳定性且节约显示面板的生产成本。
技术领域
本发明涉及显示技术领域,尤其涉及一种用于显示面板的制造设备和清洗方法。
背景技术
随着科技的发展和进步,液晶显示器由于具备机身薄、省电和辐射低等热点而成为显示器的主流产品,得到了广泛应用。现有市场上的液晶显示器大部分为背光型液晶显示器,其包括液晶面板及背光模组(backlightmodule)。液晶面板的工作原理是在两片平行的玻璃基板当中放置液晶分子,并在两片玻璃基板上施加驱动电压来控制液晶分子的旋转方向,以将背光模组的光线折射出来产生画面。
其中,薄膜晶体管液晶显示器(Thin Film Transistor-Liquid CrystalDisplay,TFT-LCD)由于具有低的功耗、优异的画面品质以及较高的生产良率等性能,目前已经逐渐占据了显示领域的主导地位。同样,薄膜晶体管液晶显示器包含液晶面板和背光模组,液晶面板包括彩膜基板(Color Filter Substrate,CF Substrate,也称彩色滤光片基板)、薄膜晶体管阵列基板(Thin Film Transistor Substrate,TFTSubstrate)和光罩(Mask),上述彩膜基板和阵列基板的相对内侧存在透明导电薄膜。
在液晶显示面板的制造过程,制造设备上有些管道的出料口或出风口容易被制造过程中的药液附着结晶,堵塞出料口或出风口,严重影响显示面板制程的稳定性,从而降低了显示面板的良率,最终造成成本增大。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种提高显示面板制程的稳定性的用于显示面板的制造设备和清洗方法。
为实现上述目的,本发明提供了一种用于显示面板的制造设备,包括:
机台,用于承载和传送玻璃基板;
工作管道,设在所述机台的上方,用于输送物料作用于所述玻璃基板;
供气装置,与所述工作管道通过供气管路连通;
供液装置,与所述工作管道通过供液管路连通;
其中,所述机台上设有用于检测所述机台上传送所述玻璃基板状态的检测装置,所述供气管路上设有第一自动阀,所述供液管路上设有第二自动阀,所述检测装置与所述第一自动阀和所述第二自动阀耦接。
可选的,所述供液装置包括第一供液装置,所述第一供液装置包括第一进液口和设置在第一进液口和所述第二自动阀之间的第一手动阀,所述第一进液口和第一手动阀设置在所述供液管路上,所述第一供液装置通过所述供液管路向所述工作管道输出第一料液。
可选的,所述供液装置包括第二供液装置,所述第二供液装置包括第二进液口和设置在第二进液口和所述第二自动阀之间的第二手动阀,所述第二进液口和第二手动阀设置在所述供液管路上,所述第二供液装置通过所述供液管路向所述工作管道输出第二料液。
可选的,所述供气装置包括进气口、调压阀、和第三手动阀,所述进气口、调压阀、和第三手动阀设置在所述供气管路上,所述调压阀靠近所述进气口,所述第三手动阀靠近所述工作管道,所述第一自动阀位于所述调压阀和所述第三手动阀之间,所述供气装置通过所述供气管路向所述工作管道输出压缩气体。
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