[发明专利]叠前裂缝预测中的方位不均匀分组方法及系统

权利要求书

1.一种叠前裂缝预测中的方位不均匀分组方法，其特征在于，包括：

步骤1：将CMP超道集面元按照方位角分段抽取偏移距属性，获得所述CMP超道集的方位角-偏移距直角坐标系交汇投影；

步骤2：根据所述方位角-偏移距直角坐标系交汇投影，将覆盖次数、中心角度与扇区投影到极坐标中，获得初始方位角-偏移距极坐标图；

步骤3：根据初始方位角-偏移距极坐标图，调节扇区角度，确定多个目标扇区，使得各个目标扇区内覆盖次数的差值小于差值阈值，获得最终的方位角-偏移距极坐标图；

其中，所述步骤3包括：

根据初始方位角-偏移距极坐标图，获得各个扇区的初始覆盖次数与初始中心角度；

根据所述初始覆盖次数，设定目标覆盖次数；

以所述初始中心角度为目标中心角度，调节扇区角度，确定多个目标扇区，进而获得所述最终的方位角-偏移距极坐标图；

其中，所述调节扇区角度包括：

以所述目标中心角度为起点，方位角度递增搜索覆盖次数；

当搜索到的覆盖次数达到所述目标覆盖次数的一半时，停止搜索，获得当前方位角度；

根据所述当前方位角度与所述目标中心角度，计算角度范围，进而确定目标扇区；

其中，通过公式(1)计算角度范围：

α＝(β-γ)×2 (1)

其中，α为角度范围，β为当前方位角度，γ为目标中心角度。

2.根据权利要求1所述的叠前裂缝预测中的方位不均匀分组方法，其中，还包括：

在所述步骤3前，设定偏移距范围，在所述偏移距范围内划分多个目标扇区，进而获得在所述偏移距范围内的最终的方位角-偏移距极坐标图。

3.一种叠前裂缝预测中的方位不均匀分组系统，其上存储有计算机程序，其特征在于，该系统包括：

存储器，存储有计算机可执行指令；

处理器，所述处理器运行所述存储器中的计算机可执行指令，执行以下步骤：

步骤1：将CMP超道集面元按照方位角分段抽取偏移距属性，获得所述CMP超道集的方位角-偏移距直角坐标系交汇投影；

步骤2：根据所述方位角-偏移距直角坐标系交汇投影，将覆盖次数、中心角度与扇区投影到极坐标中，获得初始方位角-偏移距极坐标图；

步骤3：根据初始方位角-偏移距极坐标图，调节扇区角度，确定多个目标扇区，使得各个目标扇区内覆盖次数的差值小于差值阈值，获得最终的方位角-偏移距极坐标图；

其中，所述步骤3包括：

根据初始方位角-偏移距极坐标图，获得各个扇区的初始覆盖次数与初始中心角度；

根据所述初始覆盖次数，设定目标覆盖次数；

以所述初始中心角度为目标中心角度，调节扇区角度，确定多个目标扇区，进而获得所述最终的方位角-偏移距极坐标图；

其中，所述调节扇区角度包括：

以所述目标中心角度为起点，方位角度递增搜索覆盖次数；

当搜索到的覆盖次数达到所述目标覆盖次数的一半时，停止搜索，获得当前方位角度；

根据所述当前方位角度与所述目标中心角度，计算角度范围，进而确定目标扇区；

其中，通过公式(1)计算角度范围：

α＝(β-γ)×2 (1)

其中，α为角度范围，β为当前方位角度，γ为目标中心角度。

4.根据权利要求3所述的叠前裂缝预测中的方位不均匀分组系统，其中，还包括：

在所述步骤3前，设定偏移距范围，在所述偏移距范围内划分多个目标扇区，进而获得在所述偏移距范围内的最终的方位角-偏移距极坐标图。