[发明专利]光源衰减装置及光刻机

权利要求书

1.一种光源衰减装置，其特征在于，包括第一衰减模块、第二衰减模块、水平运动机构和垂向运动机构；所述第一衰减模块包含第一透光区域和第二透光区域；所述第二衰减模块包括第一衰减叶片和第二衰减叶片，所述第二衰减模块还包含与所述第一透光区域配合的第三透光区域和与所述第二透光区域配合的第四透光区域，所述第三透光区域位于所述第一衰减叶片上，所述第四透光区域为由两个对称区域组成的半圆形区域或方形区域，其中一个对称区域设置在所述第一衰减叶片上，另一个对称区域设置在所述第二衰减叶片上；所述水平运动机构与所述第一衰减模块连接，调整所述第一透光区域或第二透光区域对准光源；所述垂向运动机构设置于所述水平运动机构上，且还与所述第一衰减叶片及所述第二衰减叶片连接，以使所述第二衰减模块与所述第一衰减模块能够在垂向上发生相对位移。

2.如权利要求1所述的光源衰减装置，其特征在于，所述第一透光区域、所述第三透光区域和所述第四透光区域均由多个实体部分和多个镂空部分组成，所述多个实体部分和所述多个镂空部分的总面积相等；所述第二透光区域为圆孔。

3.如权利要求2所述的光源衰减装置，其特征在于，所述第一透光区域、所述第三透光区域和所述第四透光区域为圆形或方形；通过改变所述第三透光区域与所述第一透光区域的重叠度，能够使透过所述第一透光区域的光线的衰减率为[50％，100％]；通过改变所述第四透光区域与所述第二透光区域的重叠度，能够使透过所述第二透光区域的光线的衰减率为[0，50％]。

4.如权利要求2所述的光源衰减装置，其特征在于，所述第一透光区域、所述第三透光区域和所述第四透光区域均由多条狭缝组成的对称区域，相邻所述狭缝间距与所述狭缝宽度相等。

5.如权利要求4所述的光源衰减装置，其特征在于，所述宽度的取值范围为[0.5，5]，单位为毫米。

6.如权利要求2所述的光源衰减装置，其特征在于，所述第一透光区域、所述第三透光区域和所述第四透光区域均由多个均匀分布的小孔组成对称区域，所述小孔的总面积与所述实体部分的面积相等。

7.如权利要求6所述的光源衰减装置，其特征在于，所述小孔的直径取值范围为[1，5]，单位为毫米。

8.如权利要求1所 述的光源衰减装置，其特征在于，所述水平运动机构包括基座、第一电机、导轨和滑块；所述第一电机和所述导轨设置在基座上；所述滑块设置在所述导轨上；所述电机与所述滑块相连，以驱动所述滑块在所述导轨上运动；所述第一衰减模块设置在所述滑块上。

9.如权利要求8所述的光源衰减装置，其特征在于，所述垂向运动机构包括安装板、皮带、从动轮、主动轮和第二电机；所述安装板与所述滑块连接；所述主动轮和从动轮安装在所述安装板上；所述皮带与所述主动轮和从动轮连接；所述第二电机与所述主动轮连接，以驱动所述皮带在垂向运动；所述第二电机安装在所述滑块上。

10.如权利要求9所述的光源衰减装置，其特征在于，所述安装板上设有第一导轨和第二导轨；所述第一衰减叶片与所述第一导轨连接，并同时与靠近所述第一导轨的皮带连接；所述第二衰减叶片与所述第二导轨连接，并同时与靠近所述第二导轨的皮带连接。

11.如权利要求10所述的光源衰减装置，其特征在于，所述第一衰减叶片和第二衰减叶片上均具有与所述皮带配合齿形结构，所述皮带带动所述第一衰减叶片和所述第二衰减叶片进行相向或背离运动。

12.如权利要求1所述的光源衰减装置，其特征在于，所述第一衰减模块为叶片结构，所述叶片结构上设有冷却管，所述冷却管内设有冷却介质。

13.如权利要求1所述的光源衰减装置，其特征在于，所述第一衰减模块和所述第二衰减模块之间的距离为[0.1，2]，单位为毫米。

14.一种光刻机，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一项所述的光源衰减装置、基础框架、内部框架、曝光系统和运动台；所述内部框架设置在所述基础框架内；所述光源衰减装置、曝光系统和所述运动台都设置在所述内部框架内；所述曝光系统设置在所述运动台上，所述光源衰减装置设置在所述运动台和所述曝光系统之间并对准所述曝光系统的光源。