[发明专利]一种电力电子器件芯片生产用辅助装置

说明书

本发明涉及芯片生产设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种电力电子器件芯片生产用辅助装置，其可以放置多种尺寸的晶圆片，同时能够便捷的对晶圆片的角度进行微调；并且能够精确的定位切割机的切割角度，保证晶圆片的切割精度；包括操作台、固定架、切割机和晶圆片，切割机上设置有专用切割片；还包括支座、四组支撑杆、四组滑片、四组固定板、转动环和中心轴，还包括左限位头、右限位头、限位弹簧、左带动杆、右带动杆、左调节钮和右调节钮，中心轴的内部设置有工作腔；还包括支撑滑动杆、挑杆、纵向调节杆、卡块、下双耳紧固螺丝、中双耳紧固螺丝、上双耳紧固螺丝、控制块、穿透杆和转向环，支座的左侧内部设置有滑动腔。

技术领域

本发明涉及芯片生产设备附属装置的技术领域，特别是涉及一种电力电子器件芯片生产用辅助装置。

背景技术

众所周知，芯片就是半导体元件产品的统称，是集成电路的载体，芯片由晶圆分割而成，电力电子器件芯片生产用辅助装置是一种在生产电力电子器件芯片的过程中，用于分割晶圆的装置，其在芯片生产加工的领域中得到了广泛的使用；现有的电力电子器件芯片生产用辅助装置包括操作台、固定架、切割机和晶圆片，所述固定架的底端与操作台的顶端中部连接，所述晶圆片与固定架卡装，所述切割机上设置有专用切割片；现有的电力电子器件芯片生产用辅助装置使用时，首先在市场上购买得到切割机，然后将固定架安装在操作台上，之后将晶圆片固定在操作台上，然后再按照切割机购买时所带的安装说明书将专用切割片固定在切割机的输出端，最后工作人员按照切割机购买时所带的使用说明书将切割机连接电源，并且用切割机的专用切割片对晶圆切割即可；现有的电力电子器件芯片生产用辅助装置使用中发现，首先固定架将晶圆片固定之后无法便捷的对晶圆片的角度进行微调，同时固定架的尺寸是固定的，从而无法满足多种尺寸的晶圆片的放置，导致使用局限性较高；并且由于工作人员手持切割机对晶圆片切割，因而无法保证晶圆片的切割精度，同时无法精确的调整切割机的切割角度，从而导致实用性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种可以放置多种尺寸的晶圆片，同时能够便捷的对晶圆片的角度进行微调，降低使用局限性；并且能够精确的定位切割机的切割角度，保证晶圆片的切割精度，增强实用性的电力电子器件芯片生产用辅助装置。