[发明专利]无胶式气密过滤设备

说明书

本发明涉及一种无胶式气密过滤设备，包括过滤箱体、多数个过滤构件及多数个载置构件，过滤箱体的相对二侧面与过滤箱体的过滤空间形成气流通道；多数个过滤构件各自具有过滤面，过滤构件以过滤面平行过滤箱体的二侧面的方式可拆卸地设置于过滤空间中；多数个载置构件对应多数个过滤构件而以一定的间距设置于过滤箱体的内壁，用以载置多数个过滤构件，其中过滤构件与过滤箱体的内壁之间有一间隙，过滤构件的过滤面以及间隙的最大值满足一关系式。

技术领域

本发明涉及技术过滤设备，具体是指一种无胶式气密过滤设备。

背景技术

在工业制造领域中，特别是半导体制造业，为使产品良率进一步提升而广泛使用无尘室，让产品在洁净、无污染的隔离环境中被生产制造。为了达成无尘室的洁净度要求，过滤设备是绝对必要且重要的设施。实施的方式为，在无尘室的进气口架设风机及过滤设备，气流被风机抽吸而通过过滤设备的层层滤网再进入无尘室。过滤设备通常为一箱体，内部设有多种不同滤网，分别可过滤酸、碱、有机等污染物。

然而，这样的过滤设备以黏胶将滤网与箱体黏合，当其中一部份滤网的使用有效时间到期，则必须更换整个过滤设备，如此相当浪费资源，并且非常不符合成本效益。除此之外，黏胶是为了降低过滤设备的气体泄漏率，然而黏胶本身就是一种高分子材料，会随着时间释放多种有机物到环境中，并不利于无尘室的要求。为了要避免使用胶，坊间产生了一种号称无胶的抽取式过滤设备，但这样的过滤设备的气体泄漏率都没有办法达到业界要求(低于10％)，因此并无法真正地推广到业界中。

发明内容

本发明的目的是克服了上述现有技术的缺点，提供了一种无胶式气密过滤设备。

为了实现上述目的，本发明具有如下构成，包含：过滤箱体，具有过滤空间，该过滤箱体的相对二侧面与该过滤空间形成气流通道；多数个过滤构件，该多数个过滤构件各自具有过滤面，该多数个过滤构件以该过滤面平行该过滤箱体的该二侧面的方式可拆卸地设置于该过滤空间中；以及数个载置构件，对应该多数个过滤构件而以一定的间距设置于该过滤箱体的内壁，用以载置该多数个过滤构件，其中，过滤构件与该过滤箱体的内壁之间有间隙，该过滤构件的过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式1：

其中，a为该间隙的最大值，X、Y分别为该过滤面的长与宽，ΔP为过滤面的垂直两侧的压力差，ρ为空气密度，v₁为自该过滤面进气的风速。

在本发明的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式2：

在本发明的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式3：

在本发明的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式4：

在本发明的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤面以及该间隙的关系满足下列数学式5：

在本发明的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤箱体的该内壁具有位置对应于该载置构件的凸沟，自该内壁的表面朝该过滤构件延伸而顶抵该过滤构件。

在本发明的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，更具有压缩填补构件，设置于该间隙。

在本发明的一实施例中提供一种无胶式气密过滤设备，该过滤箱体的该内壁及该过滤构件夹合形成非直线间隙。