[发明专利]主动元件基板在审
申请号: | 201811168672.8 | 申请日: | 2018-10-08 |
公开(公告)号: | CN109360830A | 公开(公告)日: | 2019-02-19 |
发明(设计)人: | 王培筠;陈佳楷 | 申请(专利权)人: | 友达光电股份有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;H01L23/00 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人: | 梁挥;许志影 |
地址: | 中国台湾新竹科*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 有机绝缘图案 可挠基板 周边走线 主动区 无机绝缘层 周边区 导电元件 可弯折 主动元件基板 主动元件 延伸 | ||
本发明公开了一种主动元件基板,包括可挠基板、无机绝缘层、有机绝缘图案、导电元件及周边走线。可挠基板具有主动区、主动区外的周边区以及连接于主动区与周边区之间的可弯折区。无机绝缘层设置于可挠基板上且具有位于可弯折区的沟槽。有机绝缘图案设置于无机绝缘层的沟槽。周边走线由主动区延伸至位于周边区的导电元件。周边走线设置于有机绝缘图案上,且有机绝缘图案位于周边走线与可挠基板之间。
技术领域
本发明是有关于一种元件基板,且特别是有关于一种主动元件基板。
背景技术
随着显示科技的发展,显示面板应用范围日益广泛。举例而言,在早期,显示面板多用做电子装置(例如:电视、电脑、手机等)的屏幕,而应用在电子装置上的显示面板多为硬质显示面板;在近期,则有人将显示面板应用在穿戴装置(例如:手表、衣服等),而应用在穿戴装置上的显示面板多为可挠式显示面板。
可挠式显示面板需具备相当的可弯曲程度。换言之,当可挠式显示面板弯曲时,可挠基板上的构件(例如:薄膜晶体管、数据线、扫描线、周边走线等)需随之弯曲并维持正常功能。然而,在现有的可挠式显示面板中,可挠式像素阵列基板包括至少一层整面性的无机绝缘层。当可挠式显示面板弯曲时,脆弱的无机绝缘层往往易断裂,并牵连邻近膜层(例如:第一导电层、第二导电层等)出现裂痕,进而导致可挠式显示面板失效。
发明内容
本发明提供一种主动元件基板,弯折耐受特性佳。
本发明的一种主动元件基板包括可挠基板、无机绝缘层、有机绝缘图案、导电元件及周边走线。可挠基板具有主动区以及主动区外的周边区以及连接于主动区与周边区之间的可弯折区。无机绝缘层设置于可挠基板上,且具有位于可弯折区的第一沟槽。有机绝缘图案设置于无机绝缘层的第一沟槽。导电元件设置于周边区。周边走线由主动区延伸至位于周边区的导电元件。位于可弯折区的周边走线设置于有机绝缘图案上,且有机绝缘图案位于周边走线与可挠基板之间。
在本发明的一实施例中,上述的主动元件基板更包括薄膜晶体管,设置于主动区。薄膜晶体管包括半导体图案、栅极、源极以及漏极。半导体图案设置于可挠基板上。源极与漏极位于栅极上方,且与半导体图案电性连接。
在本发明的一实施例中,上述的主动元件基板的无机绝缘层包括第一绝缘层及第二绝缘层。第一绝缘层覆盖半导体图案。第二绝缘层覆盖栅极以及第一绝缘层,其中第一沟槽贯穿第一绝缘层与第二绝缘层。
在本发明的一实施例中,上述的主动元件基板的无机绝缘层更具有第一贯孔及第二贯孔。源极与漏极设置于无机绝缘层上且分别通过第一贯孔及第二贯孔与半导体图案电性连接。周边走线、源极与漏极属于同一膜层。
在本发明的一实施例中,上述的主动元件基板的有机绝缘图案具有背向可挠基板的上表面。第二绝缘层具有背向可挠基板的上表面。有机绝缘图案的上表面与可挠基板的距离大于或等于第二绝缘层的上表面与可挠基板的距离。
在本发明的一实施例中,上述的主动元件基板的有机绝缘图案的上表面具有多个凸起部,周边走线共形地设置于多个凸起部上。
在本发明的一实施例中,上述的主动元件基板更包括平坦层、第一电极及像素定义层。平坦层覆盖薄膜晶体管。第一电极设置于平坦层上且与薄膜晶体管的漏极电性连接。像素定义层设置于平坦层与第一电极上,且具有与部分第一电极重叠的开口。
在本发明的一实施例中,上述的主动元件基板的平坦层覆盖周边走线,而像素定义层覆盖位于周边走线上的平坦层。
在本发明的一实施例中,上述的主动元件基板的平坦层的材料、像素定义层的材料以及有机绝缘图案的材料相同。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的