[发明专利]外延灯管辅助检测装置及其检测方法

说明书

本发明涉及一种外延灯管辅助检测装置及其检测方法，用于对设置于一外延机台内的若干灯管执行检测，包括控制单元，独立控制每个灯管的开启和关闭；多个测温单元，每个测温单元设置于每个灯管，测温单元检测其对应的灯管在一设定时间内的温度并将检测结果发送至控制单元；控制单元根据检测结果得到灯管的升温速率，以判断出灯管是否需要更换。本发明能够使操作人员远离灯管区域，并由单人执行数字化操作即可完成灯管检测。

技术领域

本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及一种外延灯管辅助检测装置及其检测方法。

背景技术

在半导体制造制程中，外延机台多用于在晶圆上形成外延膜，即在单一结晶方向上的晶圆上，再长有方向性排列的薄膜。通常外延机台正常生产维护后需对其加热灯管进行检测，传统的灯管检测操作需要两人完成，一人在外延机台前方操作灯管控制面板选择需测试的灯管组，另一人在外延机台后方的工艺模组内操作灯管测试按钮以点亮测试灯管组，之后由人工目视检查灯管是否发光发热，再更换第二组灯管组进行测试，如此往复，共需检查十几组灯管。

传统的灯管检测存在如下问题：1、存在安全隐患，人工进入腔室观察，容易因灯管发生爆裂溅射皮肤而导致人身伤害；灯管如发生短路或功率异常时会导致灯管爆闪，人工目视可能导致视觉障碍，严重的还有可能会造成短暂或永久性失明；2、无法一人完成，需要两人同时操作；3、无数字化显示全凭目视判断，判断方法完全靠操作者的主观视觉；4、操作繁琐，工作效率低。

发明内容

本发明的目的在于提供一种外延灯管辅助检测装置及其检测方法，能够使操作人员远离灯管区域，并由单人执行数字化操作即可完成灯管检测。

为了达到上述目的，本发明提供了一种外延灯管辅助检测装置，用于对设置于一外延机台内的若干灯管执行检测，包括控制单元，包括主控制单元，所述主控制单元设置于所述外延机台外侧，所述控制单元电性连接所述灯管，并独立控制每个所述灯管的开启和关闭；多个测温单元，每个所述测温单元设置于每个所述灯管，所述测温单元检测其对应的所述灯管在一设定时间内的温度并将检测结果发送至所述控制单元；其中，所述控制单元根据所述检测结果得到所述灯管的升温速率，以判断出所述灯管是否需要更换。

可选的，所述升温速率在一设定范围内，则所述灯管不需要更换，反之，所述升温速率超出所述设定范围，则所述灯管需要更换。

可选的，所述控制单元还包括辅助控制单元，所述辅助控制单元用于根据所述检测结果得到所述灯管的升温速率，并判断出所述灯管是否需要更换。

可选的，所述辅助控制单元具有显示面板，以显示所述灯管的温度及升温速率。

可选的，所述主控制单元包括若干选择按键及一测试开关，通过所述选择按键选中需要进行测试的所述灯管，通过所述测试开关开启或关闭所述选择按键选中的所述灯管。

可选的，所述辅助控制单元集成于所述主控制单元内；或者，所述主控制单元与所述辅助控制单元可拆卸连接。

可选的，所述测温单元为测温传感器。

本发明还提供了一种外延灯管辅助检测方法，所述方法包括如下步骤：

提供如上所述的外延灯管辅助检测装置；

控制单元选择并开启需要检测的灯管；

测温单元检测一设定时间内所述灯管的温度并将检测结果发送至所述控制单元；

所述控制单元根据所述检测结果得到所述灯管的升温速率，并通过所述升温速率判断所述灯管是否需要更换。

可选的，通过所述升温速率判断所述灯管是否需要更换的步骤为，所述升温速率在一设定范围内，则所述灯管不需要更换，反之，所述升温速率超出所述设定范围，则所述灯管需要更换。