[发明专利]一种硅料清洗装载机构

说明书

本发明公开了一种硅料清洗装载机构，它包括清洗槽、置于清洗槽内的清洗架和置于清洗架内的多个承载篮，多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，清洗架内安装有转轴，转轴一端安装有从动齿轮，清洗架固定在清洗槽底部，清洗槽底部设置有传动轴，传动轴的两端部安装在轴承座上，传动轴上设置有传动齿轮，传动齿轮与从动齿轮啮合连接，带动多个承载篮旋转，传动轴通过链条和链轮与驱动电机连接。多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，清洗架内从动齿轮与清洗槽底部传动轴上的传动齿轮啮合，从而带动多个承载篮旋转，采用这种硅料旋转清洗方式，有效的提升硅料清洗的均匀性、清洗效率和洁净度。

技术领域

本发明涉及一种硅料清洗装载机构，具体涉及一种半导体领域的湿法设备上的硅料清洗装载机构。

背景技术

传统的硅料清洗承载篮为框式结构，制作硅片的硅料通常需要进行腐蚀、清洗等前序工艺的处理。

在传统的前序工艺处理中，原有硅料的盛载篮大多为方篮机构，硅料直接置于方篮(或分层置于方篮)中，通过浸泡和上下抛动的方式对硅料进行清洗，硅料在工序处理中无法做到翻动，而改变接触点，该清洗方式清洗效率低、不同深度的硅料清洗都不均匀。

发明内容

为解决上述技术问题，本发明提供一种硅料清洗装载机构，采用硅料旋转清洗，有效的提升硅料清洗的均匀性、清洗效率和洁净度。

本发明采用的技术方案：

一种硅料清洗装载机构，它包括清洗槽、置于清洗槽内的清洗架和置于清洗架内的多个承载篮，多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，所述清洗架内安装有转轴，所述转轴一端安装有从动齿轮，所述清洗架固定在清洗槽底部，所述清洗槽底部设置有传动轴，所述传动轴上设置有传动齿轮，所述传动齿轮与从动齿轮啮合连接，从而带动多个承载篮旋转，所述传动轴通过链条和链轮与驱动电机连接。

进一步的，所述承载篮安装在清洗架内的快拆支架内，所述快拆支架两端安装有快拆支架盖板。为了方便承载篮放置或取出。

进一步的，所述清洗架的两端底部安装在清洗架限位底座上，所述清洗架限位底座固定于清洗槽底部。为了防止清洗架离清洗槽底部距离过近。

进一步的，所述清洗架包括上盖板和下盖板，所述上盖板和下盖板之间通过多个立柱连接成一体，多个立柱沿着上下盖板圆周方向均匀分布。清洗架的结构合理，能有序层叠放置承载篮。

进一步的，所述承载篮包括圆筒状的篮体，所述篮体上端设有加料口，所述篮体的加料口上通过搭扣连接篮盖。

进一步的，所述篮体顶部、侧面和底部均匀设有多个液体流通孔。

与现有技术相比，本发明的有益效果：多个承载篮沿着清洗架内从下到上依次层叠放置，清洗架内从动齿轮与清洗槽底部传动轴上的传动齿轮啮合，从而带动多个承载篮旋转，采用这种硅料旋转清洗方式，有效的提升硅料清洗的均匀性、清洗效率和洁净度。

附图说明

图1是本发明的硅料清洗装载机构的结构示意图。

图2是本发明的硅料清洗装载机构的侧视图。

图3是本发明的清洗架的立体图。

图4是本发明的清洗架的俯视图。

图5是本发明的承载篮的结构示意图。

1、驱动电机，2、链条，3、清洗槽，4、清洗架，41、上盖板，42、下盖板，43、立柱，5、从动齿轮，6、快拆支架，7、承载篮，8、轴承座，9、清洗架限位底座，10、传动齿轮，11、传动轴，12、快拆支架盖板，13、链轮，14、篮盖，15、搭扣，16、篮体，17、顶部液体流通孔，18、侧面液体流通孔，19、底部液体流通孔，20、转轴，21、加料口。

具体实施方式