[发明专利]一种电阻率检测仪及电阻率检测方法

说明书

本发明公开了一种电阻率检测仪及电阻率检测方法，涉及电阻率检测技术领域。包括支撑架，以及设置在支撑架上的上工作台和下工作台，在上工作台上设置有粉末标准容器，在粉末标准容器中心设置有通孔，在下工作台中心设置有与通孔对应的承载杆，承载杆包括座体部，座体部设置在承载杆的底端，在座体部上设置有高度传感器，用于检测通孔预留的深度，在承载杆的上端设置有下电极，支撑架包括上连接板和下连接板，在上连接板上设置有加压机构，加压机构的底端设置有可升降的且与通孔对应的上电极，在下连接板上设置有压力传感器,在压力传感器与座体部之间设置有质量传感器，压力传感器、质量传感器、上电极和下电极分别与显示器电连接。

技术领域

本发明涉及电阻率检测技术领域，具体而言，涉及一种电阻率检测仪及电阻率检测方法。

背景技术

电阻率是半导体材料的重要电学参数之一，常用的半导体电阻率测试方法包括两探针法、四探针法、单探针扩展电阻法、范德堡法。四探针法可以消除电极与样品接触电阻以及电极、连接导线体电阻产生的误差，克服了传统的二端法测量粉末电阻率仪器的弊端，可以更准确地测量粉末样品的电阻率。

现有的四探针法半导体电阻率检测仪对环境要求比较高，为提高试验的精度，通常要进行重复性试验3次左右。半导体电阻率测试过程中，通常所需样品质量较轻，样品呈粉末或晶体状。在加料过程中，易产生静电，导致半导体材料会飞溅吸附在加料台面上，造成重复性试验加料质量不一致，测试结果不准确，误差偏大等问题。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电阻率检测仪及电阻率检测方法，能够提高重复性试验时添加的待测试样品质量的统一性，减小重复性试验测试误差，提升测试的精度。

本发明的实施例是这样实现的：

本发明实施例的一方面，提供一种电阻率检测仪，包括支撑架，以及设置在所述支撑架上的上工作台和下工作台，在所述上工作台上设置有粉末标准容器，在所述粉末标准容器中心设置有通孔，在所述下工作台中心设置有与所述通孔对应的承载杆，所述承载杆包括座体部，所述座体部设置在所述承载杆的底端，在所述座体部上设置有高度传感器，用于检测所述通孔预留的深度，在所述承载杆的上端设置有下电极，所述支撑架包括上连接板和下连接板，在所述上连接板上设置有加压机构，所述加压机构的底端设置有可升降的且与所述通孔对应的上电极，在所述下连接板上设置有压力传感器,在所述压力传感器与所述座体部之间设置有质量传感器，所述压力传感器、所述质量传感器、所述上电极和所述下电极均与显示器电连接。

可选地，所述加压机构包括用于调节所述上电极升降的调节旋钮，所述调节旋钮上设置有卡接部，在所述卡接部上设置有可拆卸的拨杆。

可选地，所述电阻率检测仪还包括设置在所述上连接板上表面的刻度盘，以及设置在所述卡接部上表面的指向针。

可选地，所述加压机构包括固定座，所述固定座设置在所述上连接板的下表面。

可选地，在所述下连接板上固定设置有调节螺杆，所述调节螺杆穿过所述上工作台和所述下工作台，在所述调节螺杆上设置有调节螺母，所述调节螺母抵持在所述上工作台的上表面，用于调节所述上工作台在所述支撑架上的高度。

可选地，所述电阻率检测仪还包括套设在所述调节螺杆上的第一弹簧，所述第一弹簧的一端与所述上工作台的下表面抵接，另一端与所述下连接板的上表面抵接。

可选地，所述粉末标准容器的制作材料包括聚氯乙烯或三氧化二铁。

可选地，在所述上连接板与所述下连接板之间设置有导向杆，所述上工作台通过导滑套与所述导向杆滑动连接，所述下工作台与所述导向杆固定连接。

可选地，在所述承载杆上套设有第二弹簧，所述第二弹簧抵持在所述上工作台与所述下工作台之间。