[发明专利]一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法在审
| 申请号： | 201811174466.8 | 申请日： | 2018-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN109226046A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 杨广;张雪荣;王健康;黄昀昀 | 申请（专利权）人： | 西安中科华芯测控有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/12;B08B3/10;B08B3/02;H01L21/67 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 徐文权 |
| 地址： | 710119 陕*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 质子交换工艺 退火 超声处理 清洗 洗液 双氧水 加热 铬酸洗液 晶圆工艺 浓硫酸 铌酸锂 铌酸锂相位调制器 金属离子杂质 有机污染物 混合洗液 加热恒温 介质掩模 去离子水 退火工艺 无水乙醇 质子交换 丙酮 衬底 晶圆 去除 制备 喷洒 浸泡 芯片 增设 替代 污染 | ||
1.一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，其特征在于，在退火质子交换法制备铌酸锂相位调制器芯片的制备介质掩模工艺和质子交换工艺之间以及质子交换工艺和退火工艺之间增设彻底清洗晶圆工艺，所述彻底清洗晶圆工艺包括以下步骤：
S1：将晶圆置于浓硫酸双氧水洗液中浸泡；
S2：将S1处理后的晶圆置于无水乙醇中加热至50-70℃恒温保持5-10分钟，然后进行超声处理；
S3：将S2处理后的晶圆置于丙酮中加热至45-60℃恒温保持5-10分钟，然后进行超声处理；
S4：将S3处理后的晶圆置于RCA一号洗液中加热至70-90℃恒温保持20-30分钟，然后进行兆声处理；
S5：将S4处理后的晶圆置于RCA二号洗液中加热至70-90℃恒温处理20-30分钟；
S6：将S5处理后的晶圆采用去离子水兆声喷洒。
2.根据权利要求1所述的一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，其特征在于，S1中浓硫酸双氧水洗液为浓硫酸和双氧水按照体积比1:1～2:1混合而成。
3.根据权利要求2所述的一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，其特征在于，所述浓硫酸的质量分数为98％，双氧水的质量分数为30％。
4.根据权利要求1所述的一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，其特征在于，S2和S3中超声处理具体为：采用频率20～40kHz的槽式超声波清洗机清洗5-10分钟。
5.根据权利要求1所述的一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，其特征在于，S4中RCA一号洗液为质量分数为25％的氨水、质量分数为30％的双氧水以及去离子水按照体积比1:1:5～1:2:10混合而成。
6.根据权利要求1所述的一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，其特征在于，S4中兆声处理具体为：采用频率1MHz的槽式兆声波清洗机清洗10-20分钟。
7.根据权利要求1所述的一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，其特征在于，S5中RCA二号洗液为质量分数为37％的盐酸、质量分数为30％的双氧水以及去离子水按照体积比1:1:5～1:2:10混合而成。
8.根据权利要求1所述的一种适用于退火质子交换工艺的铌酸锂清洗方法，其特征在于，S6中兆声喷洒具体为：使用频率1MHz兆声波喷头将去离子水直接喷洒到晶圆表面清洗。
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