[发明专利]烘烤炉

说明书

本申请提供一种烘烤炉，其包括第一热电转换器、加热模块和传热模块，第一热电转换器包括第一端和第二端；加热模块设置在第一端上；传热模块设置在第二端上。本申请的烘烤炉通过在加热模块和传热模块之间设置第一热电转换器，使得当烘烤炉处于闲置状态时，将加热模块的热能转换电能用于给设备供电，达到回收废弃热能的效果。

技术领域

本申请涉及一种烘烤技术，特别涉及一种烘烤炉。

背景技术

目前阵列基板(Array)制程、彩膜基板(CF)制程及Cell(成盒)制程都会用到烘烤炉，比如在Cell制程中，利用烘烤炉(PMO)对涂完聚酰亚胺(PI)液的基板进行加热，一方面使NMP溶剂受热挥发，另一方面PI发生磺化反应。

现有的烘烤炉一般处于两种状态，一是闲置状态，一是工作状态。在闲置状态时，烘烤炉仍会加热，造成热能的浪费；在工作状态时，烘烤炉排出大量的高温气体，高温气体会带走热量，造成热能的浪费。

故，需要提供一种具有热电转换器的烘烤炉，以解决上述技术问题。

发明内容

本申请实施例提供一种具有热电转换器的烘烤炉；以解决现有的烘烤炉在闲置状态和工作状态均造成热能浪费的技术问题。

本申请实施例提供一种烘烤炉，其包括：

炉体；以及

加热回收装置，设置在所述炉体内并在垂直空间上间隔设置；

所述加热回收装置包括：

第一热电转换器，用于将加热模块的热能转换为电能，包括第一端和与所述第一端背向设置的第二端；

所述加热模块，用于提供热能，设置在所述第一端上；以及

传热模块，向所述第一热电转换器提供用于与所述第一端温度对比的热能，设置在所述第二端上。

在本申请的烘烤炉中，当所述第一端和所述第二端的温差大于设定温差时，所述第一热电转换器启动并处于工作状态；当所述第一端和所述第二端的温差小于等于所述设定温差时，所述第一热电转换器关闭，处于关闭状态。

在本申请的烘烤炉中，所述传热模块包括由多条散热管道并排形成的接触平面，所述第一热电转换器的第二端通过导热胶粘接在所述接触平面上，所述第一热电转换器的第一端通过导热胶粘接在所述加热模块的底面。

在本申请的烘烤炉的第一技术方案中，所述传热模块包括多条并排设置的散热管道，所述烘烤炉还包括用于输送常温干燥气体进入所述炉体的进气管道和用于将所述炉体的高温废气排放出去的排气管道，

所述进气管道和所述排气管道通过三通阀连通于所述散热管道的进气口，或

所述进气管道和所述排气管道各自通过一阀门连通于所述散热管道的进气口。

在本申请的烘烤炉中，所述散热管道包括一连通于所述炉体的第一出气口和连通于外界的第二出气口，且所述第一出气口和所述第二出气口处均设置有一阀门。

在本申请的烘烤炉的第一技术方案中，所述烘烤炉还包括一用于向所述炉体输送氮气的氮气输送系统，所述氮气输送系统包括一氮气出气口，所述氮气出气口设置在所述传热模块的下方。

在本申请的烘烤炉的第一技术方案中，所述烘烤炉包括第二热电转换器，所述第二热电转换器连接设置在所述进气管道和所述排气管道之间。

在本申请的烘烤炉的第二技术方案中，所述传热模块包括多条并排设置的散热管道，所述烘烤炉包括一用于向所述炉体输送氮气的氮气输送系统，所述氮气输送系统包括用于输送常温氮气的第一输送管道和用于输送所述烘烤炉处于工作状态时的与所述炉体内温度相同的氮气的第二输送管道；