[发明专利]玻璃基板层叠体及玻璃基板

说明书

本申请提供玻璃基板层叠体及玻璃基板，不易在玻璃基板发生应变，不易形成玻璃基板的主表面的凹凸。一种玻璃基板层叠体，通过层叠多张玻璃基板而形成，其特征在于，所述玻璃基板层叠体的所述玻璃基板的体积总计为0.1m³以上，所述玻璃基板层叠体所含有的全部铂族金属的凝集物中，包含超过50μm的最大长度的凝集物，最大长度为50μm以下的凝集物的个数的比例为70％以上。

本申请是国际申请日为2015年6月30日、国际申请号为PCT/JP2015/068909、发明名称为“玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板层叠体”的PCT申请的进入国家阶段日为2015年7月27日、申请号为201580000217.5的中国国家阶段申请的分案申请，其全部内容结合于此以作为参考。

技术领域

本发明涉及玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板层叠体。

背景技术

一般，玻璃基板是通过从玻璃原料生成熔融玻璃之后，经过澄清步骤、均质化步骤并使熔融玻璃成形为玻璃基板而制造的。但是，为了从高温的熔融玻璃批量生产高品质的玻璃基板，期望考虑使成为玻璃基板的缺陷主因的异物等不从制造玻璃基板的任一玻璃处理装置混入至熔融玻璃。因此，在玻璃基板的制造过程中与熔融玻璃接触的部件的壁必须根据与该部件接触的熔融玻璃的温度、所要求的玻璃基板的品质等而由适当的材料构成。

例如，在生成熔融玻璃后至供给至成形步骤的期间，熔融玻璃为极高温状态，因此，进行熔融、澄清、供给、搅拌的装置采用含有作为耐热性高的铂族金属的铂的部件(例如，专利文献1)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：特开2010-111533号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

然而，铂族金属容易因高温而挥发。而且，铂族金属的挥发物凝集时，作为该凝集物的结晶的一部分以异物形式混入熔融玻璃中，有导致玻璃基板质量下降之忧。特别是，从熔解步骤至成形步骤之间，澄清步骤是熔融玻璃的温度最高的步骤，故主要进行澄清步骤的澄清管被加热到极高的温度。因此，在澄清步骤后的熔融玻璃中，从澄清管挥发的铂族金属凝集而得的凝集物的一部分容易混入其中而成为异物。

当在玻璃基板制造过程中混入有铂族金属的异物时，将产生如下问题：由于铂族金属的异物和玻璃的热膨胀系数之差，在玻璃基板中产生应变，该应变会引起显示器的显示不良；或者，铂族金属会存在于玻璃基板的主表面附近而在玻璃基板的主表面上形成凹凸，从而不能均匀地进行设于主表面上的薄膜晶体管(TFT)的形成，导致产生显示器的显示不良。近年来，随着图像显示装置的画面显示的高清晰化，就用于显示器的玻璃基板而言，进一步强烈要求降低混入玻璃基板内的铂族金属的异物。

这样，优选降低混入玻璃基板的铂族金属的异物(凝集物)的量。然而，成形前的熔融玻璃的温度极高，特别是在进行澄清步骤的澄清管中，不能从澄清管的气相空间气氛中排除作为诱发铂族金属挥发的原因的氧，故不能完全消除铂族金属的挥发。另外，在澄清管中，不能使作为产生铂族金属的挥发物的凝集的原因的装置内壁面的温度差为0，也不能完全消除铂族金属的挥发。因此，难以在制造过程中完全阻止铂族金属的异物(凝集物)混入熔融玻璃中。

因而，本发明的目的在于，提供一种即使在玻璃基板中混入有铂族金属的异物(凝集物)也难以产生上述问题的玻璃基板的制造方法、玻璃基板及玻璃基板层叠体。

用于解决技术问题的方案